英国ウェストサセックス、バージェスヒル（2019年3月14日） - エドワーズは新しいiXH Mk2シリーズを発表しました。これは、今日の半導体プロセス要件を満たし、半導体、ディスプレイ、LED、太陽光発電の製造プロセスにおける今後の新たなアプリケーションの課題に対処する、高効率、低電力、超ハーシュデューティのドライポンプです。エドワーズは新しいiXH Mk2ソリューションを、3月20～22日に上海のSNIECで開催されるSEMICON® China（ブース1309 FPD CHINA）でご紹介します。
「新しいiXH Mk2ドライポンプは、最も過酷なプロセスに対してこれまで以上に長寿命を実現します。また、電力効率も大幅に改善されています。」と言うのはAl Brightman, Sr.です。（エドワーズ、プロダクトマネージャー）。「100年にわたる技術革新を活かして、当社は過酷なプロセス能力、信頼性、そして低所有コストのための「限界をリセット」しました。iXHは、半導体製造で使用される最も過酷なプロセスの一部による環境への影響を低減します。」
是非ブースにお立ち寄りください。iXH Mk2が、High-k、Low-k、SACVD、LPCVD、ALD、TCO、GaN、EPIにおける新たなプロセス課題をどのように解決するか明らかになります。
