エドワーズがEdCentraサブファブマネジメントシステムを発表

2017/07/12

「半導体製造装置メーカーが高度な監視およびデータ分析を採用して工場運営を最適化していくなか、同じ技術をサブファブ運営に適用することに大きな利点を見出しています。」と語るのは、エドワーズの半導体サービス部門のグローバルマーケティングディレクターであるGeoffrey Stoddartです。「例えば、ウェハー処理中、予定外の真空破壊による歩留まりへの影響は、ウェハーの品質と全体的な工場コストに影響する可能性があります。EdCentraは、ポンプ性能および予知保全に関する価値の高い結果を提供し、半導体製造装置の稼働率を最大化します。」




EdCentraは旧型のFabWorksで蓄積されたノウハウからのフィードバックにより、直感的、視覚的、およびカスタマイズされたユーザーインターフェイスにより多くの新規および改善されたサブファブマネジメント機能を搭載しています。マシンオペレータ、プロセスエンジニアまたはオペレーションマネージャーは包括的に設備状態のリアルタイムステータスを把握し、数回マウスをクリックするだけで、個々の装置レベルの情報までドリルダウンすることができます。包括的な処理 履歴からのトレンド分析により画面上で、使いやすい複数ツールとパラメータ間のグラフトレンド比較を通して障害の高速根本原因分析モードを利用できます。EdCentraの高度な機能に次のようなものがあります: プロセスごとの監視とパラメータ閾値監視および予知保全、さらに条件ベースの保守および保守情報プーリング。




EdCentraは、新しい市場とお客様の要求を迅速かつ的確に取り入れて、新しい重要なサブファブ機器の監視トレンドをシームレスに追加できるように設計されています。このシステムは新しいタイプのデータベース、通信プロトコル、およびデータマネジメントのエコシステムに対応可能です。




Stoddartは、「EdCentraは未来を見据えています。EdCEntraはグローバルな設備とプロセスのノウハウを取り入れ、その監視、高度な診断、予測機能によって、お客様の製造設備のインフラストラクチャが適切に維持され、常にプロセスと歩留まりのパフォーマンスを提供できるという安心感をお客様に提供します。」

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