Pompes sèches pour semi-conducteurs

La référence mondiale dans le domaine du vide

Des solutions plus écologiques et plus fiables avec des coûts de possession réduits

Les pompes sèches à faible consommation énergétique iXM peuvent apporter de réelles améliorations de procédé en augmentant le temps d’utilisation, en réduisant l’impact environnemental et en optimisant la rentabilité de vos applications les plus essentielles.

  • Économe en énergie, le mécanisme Roots peut faire baisser l’alimentation d’entrée de 60 %, réduisant ainsi l’impact environnemental et les coûts de possession.
  • Notre technologie étanche aux gaz et les améliorations de conception thermique multiplient par quatre la résistance à la corrosion par rapport à notre précédent modèle.
  • Les fonctionnalités de traitement avancé des poudres assurent une fiabilité maximale, augmentent la durée de vie de la pompe pour les procédés de gravure à plusieurs couches et réduisent la consommation électrique pour les procédés CVD.
  • Une conception compacte et légère, associée à des niveaux sonores et de vibration exceptionnellement bas, vous confère plus de souplesse.
  • Disponible avec la technologie Xcede pour une résistance à la corrosion améliorée.

La gamme de pompes sèches iXH pose de nouvelles normes en matière de performances dans des conditions difficiles, de fiabilité et de coûts de possession.

  • La plage de températures étendue vous permet d’optimiser la pompe pour une accumulation minimale de sous-produits issus de la condensation et du placage.
  • Les pompes sèches iXH Mk2 présentent une durée de vie encore plus longue dans les conditions les plus difficiles et peuvent améliorer sensiblement le rendement énergétique.
  • La technologie innovante des joints de la pompe peuvent prolonger la durée de vie des procédés et réduire vos risques de fuite.
  • Disponible avec la technologie Xcede pour une résistance à la corrosion améliorée.

La gamme iXL se compose de pompes sèches compactes à faible consommation énergétique destinées à des applications légères telles que la manipulation de plaquettes, le PVD et la métrologie.

  • Pompage de chambre rapide et très faible consommation électrique 
  • Les pompes sèches iXL600(N) et iXL1000(N) font partie des modèles les plus compacts et les plus silencieux destinés aux applications légères. 
  • Les modèles iXL600M et iXL1000M ont fait l’objet d’un processus de durcissement spécialement conçus pour la gravure (oxyde) diélectrique et d’autres applications similaires. 
  • Les pompes sèches iXL600(N) et iXL1000(N) affichent des vitesses de pompage élevées et une faible consommation énergétique.
  • La pompe de sas iXL900R est actuellement la plus rapide de sa catégorie pour des applications de sas FPD. Cette nouvelle pompe permet aux clients de réduire considérablement leurs coûts de fonctionnement et leurs temps d’installation, cette nouvelle pompe étant particulièrement bien adaptée aux chambres de sas les plus grandes utilisées dans le cadre d’applications de dépôt en phase vapeur activé par plasma (PVD). En outre, les clients auront besoin de moins de pompes par chambre de sas, réduisant ainsi le temps d’installation, les coûts de systémisation, l’entretien et la consommation énergétique.
  • Un mode écologique permet de réduire la consommation énergétique pendant les périodes de veille, faisant ainsi baisser les coûts de fonctionnement et améliorant vos performances environnementales.
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