La pompe cryogénique IS XVS 320F On-Board CTI-Cryogenics perpétue la tradition d'Edwards pour fournir les pompes cryogéniques d'implantation les plus fiables et les plus performantes du marché.
La pompe cryogénique IS 320F XVS On-Board® est conçue pour fournir les meilleures performances de pompage d'hydrogène pour une capacité et un rendement de processus améliorés, offrant ainsi la réponse parfaite aux défis liés aux processus actuels d'implantation ionique.Le contrôle intelligent du système intégré à la pompe cryogénique garantit de meilleures performances en termes de qualité de processus, d'homogénéité de vide et de disponibilité, tout en fournissant des informations système en temps réel pour un contrôle optimal des températures du réseau. Les performances de vide sont améliorées grâce à une adaptation automatique aux conditions changeantes de charge thermique/de gaz.
