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Bannière supérieure Pompe cryogénique 320F XVS Edwards CTI-Cryogenics

Pompe cryogénique IS 320F XVS On-Board

La solution pour les processus actuels d'implantation ionique exigeants

Atteignez de nouveaux niveaux de performances en termes de pompe cryogénique

Pompe cryogénique IS 320F XVS On-Board Edwards CTI-Cryogenics en position verticale

La pompe cryogénique IS 320F XVS On-Board® est conçue pour fournir les meilleures performances de pompage d'hydrogène pour une capacité et un rendement de processus améliorés, offrant ainsi la réponse parfaite aux défis liés aux processus actuels d'implantation ionique.Le contrôle intelligent du système intégré à la pompe cryogénique garantit de meilleures performances en termes de qualité de processus, d'homogénéité de vide et de disponibilité, tout en fournissant des informations système en temps réel pour un contrôle optimal des températures du réseau. Les performances de vide sont améliorées grâce à une adaptation automatique aux conditions changeantes de charge thermique/de gaz.

   

Caractéristiques et avantages

  • Réduction de la variation de vitesse de pompage de H2 entre les régénérations
  • Réduction de l'impact sur la vitesse de pompage de H2 en raison de la contamination photosensible
  • Températures de réseau stables optimisées

  • Vitesse de pompage de H2 élevée - 15 500 L/S
  • Haute capacité H2 – 40 STD-L

  • Systèmes de pompe cryogénique IS On-Board
  • Compresseurs IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS

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