Les jauges sont utilisées pour de nombreuses raisons dans les systèmes de vide, notamment : mesurer la pression (la pression UHV est-elle suffisamment basse pour optimiser l'expérience ?), pour agir comme des « verrouillages » ou des « interrupteurs » du système (lorsque la pompe de vide primaire peut être démarrée) et pour « contrôler » les procédés de production.
La reproductibilité de la jauge, la précision, la stabilité, la résolution, la linéarité, le temps de réponse, la plage dynamique, la robustesse, ainsi que le coût sont autant de facteurs importants à prendre en compte pour choisir une jauge.
Les jauges à vide sont soit Totales : la pression totale d'un mélange de gaz est égale à la somme des pressions partielles de chaque gaz : la loi de Dalton.
ou
Partielles : elles mesurent la pression (partielle) de chaque type de gaz.
En outre, les jauges absolues sont appelées « primaires » dans la mesure où elles peuvent être étalonnées à partir de leurs propres propriétés physiques ou « secondaires » pour celles qui ne peuvent pas être étalonnées et qui nécessitent un calibrateur « reperene ».
Les jauges peuvent également être subdivisées en deux groupes de principes : ceux qui mesurent directement la pression (la force exercée par les molécules de gaz en suspension) et ceux qui mesurent indirectement la pression en mesurant les propriétés des gaz qui varient avec la pression. Les jauges indirectes doivent être étalonnées (ou leurs relevés doivent être ajustés) pour le gaz spécifique présent ; leurs relevés sont donc « dépendants du type de gaz ». Les jauges directes disponibles dans le commerce ont une limite inférieure pratique de 10-4 mbar. L'utilisation de jauges indirectes est donc nécessaire à ces pressions et à des pressions plus basses.
Les jauges directes se sous-divisent encore en jauges pour lesquelles la différence entre la pression mesurée et une référence déplace un liquide ou un élément élastique/mécanique.
Les jauges indirectes sont souvent étalonnées pour l'azote. Par exemple, si la sensibilité de l'azote est SN2 et que la pression indiquée (mesurée) est PN2, alors si le gaz est connu, la pression réelle du gaz (= Pgaz) est :
Sgaz = sensibilité relative du gaz.
Dans le cas où SN2 = 1, alors tout simplement
En présence de plusieurs types de gaz, la situation devient compliquée. Dans un premier temps, le pourcentage de composition des gaz doit être connu. Ensuite, d'après les premiers principes d'une gamme de gaz constituants, où ri = Pi/PN2 est le composant relatif du gaz Ith et la sensibilité relative du gaz Ith est si = Pindiquée(N2)/Préelle, la relation entre la pression « réelle » et la pression indiquée est donnée par :
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