Die Kryokühler Edwards Polycold® MaxCool sind kryogene Kühlsysteme mit geschlossenem Prozess, die Wasserdampf effektiv einfangen. Dieser macht 65 % bis 95 % des Restgases in Hochvakuumsystemen aus.
Diese Kryokühler können verwendet werden, um Wasserdampf und andere kondensierbare Substanzen aufzufangen, indem sie auf einer kalten Oberfläche wie einer Kryospirale oder einem Chevron-Baffle gefrieren. MaxCool-Kryokühler werden auch zum Kühlen und Erwärmen von Objekten wie z. B. elektrostatischen Chucks für die Halbleiterwaferproduktion eingesetzt. Die verschiedenen Modelle unserer Serie liefern 2.000, 2.500 bzw. 4.000 Watt Kühlung.
Wasserdampf ist in der Regel die reaktivste vorhandene Verunreinigung in Hochvakuumsystemen. Mit unseren MaxCool-Kryokühlern können Sie den Produktdurchsatz in Ihrem bestehenden System um 20 % bis 100 % steigern und die Qualität der Abscheidung verbessern.
Wenn Sie Ihr Vakuumsystem um den Kryokühler MaxCool erweitern, kann er die Abpumpzeiten drastisch reduzieren und den Produktdurchsatz erhöhen. Der MaxCool pumpt Wasserdampf innerhalb von Minuten nach dem „Start“ und kann in weniger als vier Minuten auftauen, was echte Schnellzyklusfähigkeit bedeutet. Das Gerät verfügt auch über eine Option namens Rapid Cool to Cool, die die Wartezeit nach dem Auftauen eliminiert. Für Ihr System bedeutet dies mehr Produktionszyklen pro Schicht.
Mit den patentierten Polycold®-Kältemittelgemischen arbeitet der MaxCool nach dem Prinzip der Meissner-Falle. Wasserdampf wird durch Kondensation auf einer kryogen gekühlten Oberfläche, der sogenannten Meissner-Spule, aufgefangen. Die Meissner (Kryospule) wird direkt in der Vakuumkammer montiert, sodass der Leitwert nicht durch Anschlüsse, Sammelrohre, Ventile und Leitbleche begrenzt wird. Die Kryospulen sind einfach zu installieren und können an jedes System angepasst werden, ohne dass ein Hochvakuumventil erforderlich ist.
MaxCool-Kryokühler sind die kostengünstigste Nachrüstung, die Sie jedem System mit Diffusionspumpen, Turbo- oder Helium-Kryopumpen hinzufügen können.
MaxCool-Kryokühler sind konform mit der europäischen Kältemittelanwendung (laut Verordnung EG Nr. 1005/2009), dem Montreal-Protokoll und dem US EPA SNAP.
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MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Maximale Kühlleistung |
2.000 W |
2.500 W |
4.000 W |
Temperatur bei maximaler Kühlleistung |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Kälteste Temperatur |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Endbetriebsdruck (25 % der maximalen Pumpleistung) |
3E-9 Torr |
8E-10 Torr |
5E-8 Torr |
Typische Kühlfallenfläche |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Maximale Wasserdampf-Pumpleistung aus typischer Kühlfallenfläche |
163.900 l/s |
208.600 l/s |
327.800 l/s |
Konservative maximale Kühlfallenfläche* |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Stromverbrauch (Standby-Modus) |
5,5 kW |
11,4 kW |
12,0 kW |
Stromverbrauch (Kühlmodus, typische Last) |
6,2 kW |
13,9 kW |
12,4 kW |
Stromverbrauch (Kühlmodus, max. Last) |
8,8 kW |
19,2 kW |
19,2 kW |
Kühlwasserdurchfluss bei 13 °C |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Kühlwasserdurchfluss bei 18 °C |
9,1 l/min |
18,2 l/min |
18,2 l/min |
Kühlwasserdurchfluss bei 24 °C |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Kühlwasserdurchfluss bei 29 °C |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Entspricht EU PED |
Ja |
Ja |
Ja |
Ungiftige Kältemittel |
Ja |
Ja |
Ja |
Nicht zündfähige Kältemittel |
Ja |
Ja |
Ja |
