Ihr Browser wird nicht unterstützt

Sie verwenden einen Browser, der nicht mehr unterstützt wird. Um auf unserer Website fortzufahren, wählen Sie bitte einen der folgenden unterstützten Browsers.

Kryokühlerserie Edwards MaxCool

Kryokühler MaxCool

Für Herausforderungen entwickelt

Schnelles Erreichen höherer Vakuumwerte

Diese Kryokühler können verwendet werden, um Wasserdampf und andere kondensierbare Substanzen aufzufangen, indem sie auf einer kalten Oberfläche wie einer Kryospirale oder einem Chevron-Baffle gefrieren. MaxCool-Kryokühler werden auch zum Kühlen und Erwärmen von Objekten wie z. B. elektrostatischen Chucks für die Halbleiterwaferproduktion eingesetzt. Die verschiedenen Modelle unserer Serie liefern 2.000, 2.500 bzw. 4.000 Watt Kühlung.

Pumpen von Wasserdampf

Wasserdampf ist in der Regel die reaktivste vorhandene Verunreinigung in Hochvakuumsystemen. Mit unseren MaxCool-Kryokühlern können Sie den Produktdurchsatz in Ihrem bestehenden System um 20 % bis 100 % steigern und die Qualität der Abscheidung verbessern.

Die Vorteile von MaxCool

  • Hochvakuum-Abpumpzeiten um bis zu 75 % kürzer
  • Erhöhter Produktdurchsatz von 20 % bis 100 %
  • Geringerer Wasserdampfpartialdruck während der Verarbeitung für höhere Folienqualität, bessere Haftung und reproduzierbarere Abscheidung
  • Hervorragend im Preis-Leistungs-Verhältnis gegenüber flüssigstickstoffgekühlten Meissners
  • Minimierung der Betriebskosten durch Energiemanagement
  • Hochleistungskühlung und -heizung für eine Vielzahl von Prozessen

Kryokühler Edwards Polycold MaxCool 2500 L

Wenn Sie Ihr Vakuumsystem um den Kryokühler MaxCool erweitern, kann er die Abpumpzeiten drastisch reduzieren und den Produktdurchsatz erhöhen. Der MaxCool pumpt Wasserdampf innerhalb von Minuten nach dem „Start“ und kann in weniger als vier Minuten auftauen, was echte Schnellzyklusfähigkeit bedeutet. Das Gerät verfügt auch über eine Option namens Rapid Cool to Cool, die die Wartezeit nach dem Auftauen eliminiert. Für Ihr System bedeutet dies mehr Produktionszyklen pro Schicht.

Mit den patentierten Polycold®-Kältemittelgemischen arbeitet der MaxCool nach dem Prinzip der Meissner-Falle. Wasserdampf wird durch Kondensation auf einer kryogen gekühlten Oberfläche, der sogenannten Meissner-Spule, aufgefangen. Die Meissner (Kryospule) wird direkt in der Vakuumkammer montiert, sodass der Leitwert nicht durch Anschlüsse, Sammelrohre, Ventile und Leitbleche begrenzt wird. Die Kryospulen sind einfach zu installieren und können an jedes System angepasst werden, ohne dass ein Hochvakuumventil erforderlich ist.

MaxCool-Kryokühler sind die kostengünstigste Nachrüstung, die Sie jedem System mit Diffusionspumpen, Turbo- oder Helium-Kryopumpen hinzufügen können.

MaxCool-Kryokühler sind konform mit der europäischen Kältemittelanwendung (laut Verordnung EG Nr. 1005/2009), dem Montreal-Protokoll und dem US EPA SNAP.

Vorteile

  • Erhöhte Produktivität durch „Rapid Cool to Cool“-Option
  • Option für Energiemanagement zur Minimierung der Betriebskosten
  • Temperaturregelung
  • Die patentierte umweltfreundliche Kältemittelfüllung entspricht den weltweit gültigen Standards, ist ungiftig und nicht zündfähig
  • Sie basiert auf der bewährten, innovativen und zuverlässigen Mischgaskühlung von Polycold®
  • Entspricht EU PED und MD
  • Von TÜV Rheinland nach NRTL/CANADA Sicherheitsstandards gelistet
  • Nach ISO 9001:2008 zertifizierter Hersteller

Technische Daten der MaxCool-Modelle

 

MaxCool 2000

MaxCool 2500L

MaxCool 4000H

Maximale Kühlleistung

2.000 W

2.500 W

4.000 W

Temperatur bei maximaler Kühlleistung

-111 °C

-120 °C

-98 °C

Kälteste Temperatur

-142 °C

-145 °C

-133 °C

Endbetriebsdruck (25 % der maximalen Pumpleistung)

3E-9 Torr

8E-10 Torr

5E-8 Torr

Typische Kühlfallenfläche

1,1 m2

1,4 m2

2,2 m2

Maximale Wasserdampf-Pumpleistung aus typischer Kühlfallenfläche

163.900 l/s

208.600 l/s

327.800 l/s

Konservative maximale Kühlfallenfläche*

1,5 m2

2,0 m2

2,8 m2

Stromverbrauch (Standby-Modus)

5,5 kW

11,4 kW

12,0 kW

Stromverbrauch (Kühlmodus, typische Last)

6,2 kW

13,9 kW

12,4 kW

Stromverbrauch (Kühlmodus, max. Last)

8,8 kW

19,2 kW

19,2 kW

Kühlwasserdurchfluss bei 13 °C

6,8 l/min

15,1 l/min

15,1 l/min

Kühlwasserdurchfluss bei 18 °C

9,1 l/min

18,2 l/min

18,2 l/min

Kühlwasserdurchfluss bei 24 °C

13,6 l/min

27,3 l/min

27,3 l/min

Kühlwasserdurchfluss bei 29 °C

27,6 l/min

54,1 l/min

54,1 l/min

Entspricht EU PED

Ja

Ja

Ja

Ungiftige Kältemittel

Ja

Ja

Ja

Nicht zündfähige Kältemittel

Ja

Ja

Ja