Your browser is not supported

Používáte prohlížeč, který již není podporován. Chcete-li nadále navštěvovat naše webové stránky, vyberte si jeden z následujících podporovaných prohlížečů.

Horní banner kryovývěvy Edwards CTI-Cryogenics 320F XVS

Kryovývěva On-Board IS 320F XVS

Řešení pro dnešní náročné aplikace iontové implantace

Dosáhněte nových úrovní výkonu kryovývěvy

Kryovývěva Edwards CTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVS ve svislé poloze

Kryovývěva On-Board® IS 320F XVS je navržena tak, aby poskytovala nejvyšší výkon čerpání vodíku pro vyšší výtěžnost a výkon procesu a nabízí dokonalou odpověď na současné výzvy v oblasti aplikací iontové implantace.Inteligentní řízení systému integrované v kryovývěvu zajišťuje lepší kvalitu procesu, konzistenci vakua a provozuschopnost a současně poskytuje informace o systému v reálném čase pro optimální kontrolu teplot pole. Kvalita podtlaku se zvyšuje automatickou adaptací na měnící se podmínky tepelného zatížení nebo zatížení plynem.

   

Funkce a výhody

  • Redukce kolísání rychlosti čerpání H2 mezi regeneracemi
  • Snížený dopad na rychlost čerpání H2 v důsledku znečištění fotorezistoru
  • Optimalizované stabilní teploty pole

  • Vysoká rychlost čerpání H2 – 15 500 l/s
  • Vysoká kapacita H2 – 40 STD-L

  • Systémy kryovývěv On-Board IS
  • Kompresory IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS

Obraťte se na nás a dozvíte se více

Klikněte sem

Loading...