Kryovývěva CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F zachovává tradici společnosti Edwards v poskytování nejspolehlivějších a nejvýkonnějších kryovývěv na trhu.
Kryovývěva On-Board® IS 320F XVS je navržena tak, aby poskytovala nejvyšší výkon čerpání vodíku pro vyšší výtěžnost a výkon procesu a nabízí dokonalou odpověď na současné výzvy v oblasti aplikací iontové implantace.Inteligentní řízení systému integrované v kryovývěvu zajišťuje lepší kvalitu procesu, konzistenci vakua a provozuschopnost a současně poskytuje informace o systému v reálném čase pro optimální kontrolu teplot pole. Kvalita podtlaku se zvyšuje automatickou adaptací na měnící se podmínky tepelného zatížení nebo zatížení plynem.
