On-Board vývěvy Edwards CTI-Cryogenics urychlují integraci a zlepšují provoz systému - což je známé jako světový standard spolehlivosti a výkonu.
Kryovývěvy On-board s plně integrovaným ovládáním a podpůrnými zařízeními poskytují vynikající provozuschopnost a konzistentní výkon za účelem zvýšení produktivity a provozuschopnosti celého nástroje.
| Model kryovývěvy On-Board | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Rychlosti čerpání – l/s | ||||||||
| Vodní pára | 1 100 | 4 000 | 4 000 | 9000 | 9500 | 6 500 | 17 500 | 30000 |
| Vzduch | 370 | 1 500 | 1 500 | 3000 | 3 600 | 2 200 | 6 000 | 10000 |
| Vodík | 370 | 2 500 | 2 200 | 5 000 | 6 000 | 3 200 | 12 000 | 12 000 |
| Argon | 310 | 1 200 | 1 200 | 2 500 | 3000 | 1 800 | 5 000 | 8 400 |
| Objem – standardní litry | ||||||||
| Argon | 210 | 1 000 | 1 000 | 2 000 | 2 000 | 1 000 | 2 500 | 6 000 |
| Vodík (5x10-6 torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Jmenovitá doba regenerace (od studeného do studeného stavu) | ||||||||
| První a druhá fáze | 75 min | 2,5 h | 2,5 h | 2,5 h | 2,5 h | <3,3 h | 3 h | <3,8 h |
| Druhá fáze | <1 h | <1 h | <1 h | <1 h | <1 h | <1,5 h | <1,5 h | – |
