Prozřete, kde jste dříve byli slepí
Edwards analyzátor procesních plynů – řízení procesů v reálném čase pro aplikace v polovodičovém průmyslu
iTrap® je kompaktní, vysoce citlivý hmotnostní spektrometr typu Fourier Transform (FTMS). Je to ideální nástroj pro analýzu a inline řízení procesů. Může být použit ve výzkumu i v produkčním prostředí. iTrap vás spolehlivě podporuje při detekci nejmenších stop vedlejších produktů nebo kontaminace reakce, pomáhá vám ověřovat účinnost čištění a analyzovat zdraví komory. Hmotové spektrum se měří téměř v reálném čase a vy můžete ve své procesní komoře vystopovat velmi malé množství molekul. iTrap je výkonný nástroj v rukou výzkumného pracovníka nebo inženýra pro vývoj procesů a lze jej také použít jako inteligentní senzor integrovaný a ovládaný dalším vybavením procesních nástrojů.
Výhody
Edwards iTrap přesvědčí:
- Rychlostí| v reálném čase prováděná měření, celé spektrum za méně než 0,5 sekundy
- Citlivost | Měření koncentrace s malou stopou
- Kompaktostí| může být integrován v procesní komoře. Standardizované softwarové rozhraní připravené pro externí chemikálie.
- Odolností proti korozi| inertní povrch, žádné detektory. Odolává H2, Cl, F a dalším agresivním chemikáliím