愛德華在韓國國際半導體設備展 (SEMICON® Korea) 主打整合式廢氣處理解決方案

2015年2月4日

愛德華行銷部門經理 Charles Lee 說道:「愛德華不斷努力降低擁有成本、提升生產力、加強最終產品品質。以我們在韓國首爾國際半導體設備大展發表的整合式解決方案為例, 將真空泵浦與廢氣處理系統整合為單一裝置,如 EZENITH™ 產品系列,便能擁有許多優點,例如: 製程穩定性更佳、運作更安全、啟動時間更快、降低總擁有成本。在整合式系統中,我們的專業應用工程師會決定真空泵浦、廢氣處理系統、排氣管配置、管路溫度管理的最佳可能性組合,提供最低的擁有成本和可預測的穩定效能。」




此外,今年的產品線包含下列乾式泵浦系列,提供節能模式,可降低耗能高達 95%:

  • iXL120 與 iXL200 乾式泵浦 - 最輕、最小的泵浦,適用於加載互鎖與清潔應用
  • iXH 乾式泵浦 - 專為嚴苛製程應用設計
  • iXM 乾式泵浦 - 此泵浦耗電量低,提供最高的可靠度,並可延長泵浦壽命
  • STP 磁浮渦輪分子真空泵浦 - 「多功能」解決方案,適用大量、高流量應用,如半導體、FPD、LED 和製造太陽能等。




    Charles Lee 表示:「我們很榮幸今年可以再次參加韓國國際半導體設備展,也期待能與客戶聊聊整合式次潔淨區域系統。我們已經設計、銷售整合式真空和廢氣處理系統 15 年了,在全世界裝機超過 1,000 台。實際上,愛德華大多數的乾式泵浦都在韓國製造,然後再出口至世界各地的, 因此我們的經驗值得客戶信賴。」 Charles 補充說:「歡迎所有參加韓國國際半導體設備展的賓客來愛德華攤位 #5104,和我們的應用專家聊聊整合式真空和廢氣處理系統的優點。」

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