愛德華 - 百年創新

2019年1月14日

今年是我們的 100 週年

愛德華的百年真空技術

F.D. Edwards 先生與百年真空技術

真空有助於科學與科技的發展

過去 100 年來,愛德華有顯著的進展,並且將繼續在科學和科技業中扮演更加關鍵的角色。僅在過去十年內,我們已見到各種新真空應用的誕生與成長,包含製造智慧型手機、平板、HB LED 照明、太陽能 PV 面板和電動車用的鋰電池。若僅看現代的智慧型手機,就有不少要素的關鍵製程需要真空,從進階半導體設備,如處理器、記憶體、MEMS 感測器、高解析度 LCD/LED 螢幕、LED 閃光燈、鋰電池,至外殼成型、抗反射、抗油螢幕鍍膜等等。實在難以想像現今沒有真空製造產品的日子。

真空與廢氣處理對半導體製程的重要性

談到半導體製程,真空與廢氣處理是次潔淨區域達到摩爾定律最重要的兩個關鍵功能。真空泵浦會抽出製程腔體的空氣,提供每個製程步驟所需的壓力和流量,同時移除未使用的製程氣體和副產品,通過廢氣處理系統進行處理,因此這些氣體可安全排出或消除。

1980 年代時,新半導體製程和增加的氣體流量造成問題,在使用油潤滑的「濕式」泵浦中,腐蝕性化學物質和固體會在油中聚集,因此使用年限短、擁有成本高。開發無須用油的「乾式泵浦」後,這些問題便解決了。愛德華的 Henry Wycliffe 於 1984 年取得 roots 乾式泵浦和 claw 乾式泵浦的專利,這些專利很快就成為促進了複雜的半導體製程新科技。自那時起,愛德華便不斷創新,加速半導體製程的發展,以及使用複雜又具挑戰性的化學來促使摩爾定律的發展。許多情況下,沒有真空和廢氣處理設備的重大創新,就不可能會有新製程。

產品對環境的影響也是廣泛性創新的焦點。單就真空泵浦而言,便佔高達半導體製造設備總耗能的 25%。愛德華擁有強大的追蹤紀錄創新,可提供更有效、更永續的產品,同時亦可解決抽氣時不斷增加的化學挑戰。以我們最新的第五代半導體乾式泵浦為例,使用的能源比上一代少 50%,同時提供更佳的效能、使用年限更長、機身更小,可改善次潔淨區域的空間利用。同樣地,廢氣處理系統可安全管理更具挑戰性的氣體化學,我們每年在世界各地的裝機數量已防止相當於 1.4 千萬噸的二氧化碳排放量。

愛德華在真空及廢氣處理方面的創新優勢

Edwards 先生是位非常成功的創業家,他開創了一個創新的環境,自那時起,這項特色就保留在愛德華的 DNA 中。我們所服務的市場和應用大多都變化多端,變動頻繁,對產品也有新的挑戰性要求,因此,對愛德華和客戶而言,是否能為複雜挑戰開發創新技術是一個關鍵要素。

為了超越所有最新的真空關鍵應用,愛德華已開發一系列的成功創新、新產品、新技術。實際上,我們至今已有 20 條不同的創造真空和廢氣處理原則,以及超過 2300 項的獲准專利和待審專利。

一窺未來的真空科技

無論未來怎樣發展,真空都將持續扮演關鍵的重要角色。需要真空的應用量和規模不斷增加,技術也必定會改變,愛德華具有良好定位,將用創新的解決方案實現這一切。

若環顧我們自己的日常生活,就能輕易看到某些常見的事物不斷需要創新和改善解決方案,例如數位領域及更智能的連接產品和更強大的處理能力所帶來的各種機會。重要的是,我們利用更節省能源和材料的產品,持續關注最不影響環境影響的解決方案,並用永續性和生產力來支持科學與科技的重大突破。

我們相信 F.D. Edwards 先生一定會為愛德華在這整整一百年內所成就的事而驕傲,我們也將持續關注、投資創新,為下個一百年穩踞優勢的地位。