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Alcance novos níveis de desempenho de bombas criogênicas

A bomba criogênica CTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVS da Edwards na posição vertical

A bomba criogênica On-Board® IS 320F XVS foi projetada para oferecer o mais alto desempenho de bombeamento de hidrogênio para um melhor rendimento e produtividade do processo, oferecendo a resposta perfeita para os desafios atuais das aplicações de implante de íons. O controle inteligente do sistema integrado à bomba criogênica garante melhor qualidade do processo, consistência do vácuo e tempo de atividade, ao mesmo tempo em que fornece informações do sistema em tempo real para o controle ideal das temperaturas da matriz. A qualidade do vácuo é aprimorada pela adaptação automática às mudanças nas condições de carregamento térmico/gás.

   

Recursos e benefícios

  • Desempenho estável do vácuo
  • Desempenho de vácuo aprimorado
  • Compatibilidade do sistema
Desempenho estável do vácuo

  • Variação de velocidade de bombeamento de H2 reduzida entre regenerações
  • Impacto reduzido para velocidade de bombeamento de H2 devido à contaminação fotorresistente
  • Temperaturas otimizadas de matriz estável

Desempenho de vácuo aprimorado

  • Alta velocidade de bombeamento de H2-15.500 L/S
  • Alta capacidade de H2 – 40 STD-L

Compatibilidade do sistema

  • Sistemas de bomba criogênica IS integrada
  • Compressores IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS

  • Variação de velocidade de bombeamento de H2 reduzida entre regenerações
  • Impacto reduzido para velocidade de bombeamento de H2 devido à contaminação fotorresistente
  • Temperaturas otimizadas de matriz estável

  • Alta velocidade de bombeamento de H2-15.500 L/S
  • Alta capacidade de H2 – 40 STD-L

  • Sistemas de bomba criogênica IS integrada
  • Compressores IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS

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