Verpompen van waterdamp
De Polycold MaxCool 4000 H cryochiller vangt effectief waterdamp op, die 65% tot 95% van het restgas in hoogvacuümsystemen uitmaakt.
Waterdamp is gewoonlijk de meest reactieve verontreiniging die aanwezig is. Met de MaxCool Cryochiller kunt u verwachten dat de productdoorvoer in uw bestaande systeem 20% tot 100% toeneemt en de afzettingskwaliteit verbetert.
Het MaxCool-voordeel
- Hoogvacuüm afpomptijd tot 75% korter
- Hoge pompsnelheid van waterdamp: 10.000 tot 220.000 l/sec in de werkruimte
- Verhoogde productdoorvoer van 20% tot 100%
- Lagere deeldruk van waterdamp tijdens de verwerking voor een hogere filmkwaliteit, betere hechting en reproduceerbare afzetting
- Betere kosten/prestaties dan Meissners met vloeibare stikstofkoeling
- Minimaliseer de eigendomskosten met energiebeheer
- Hoge koel- en verwarmingscapaciteit voor een breed scala aan processen
Als de MaxCool cryochiller aan uw vacuümsysteem wordt toegevoegd, kan hij de afpomptijden drastisch verkorten en de productdoorvoer verhogen. De MaxCool pompt waterdamp binnen enkele minuten na de start en kan in minder dan vier minuten ontdooien, wat een snelle cyclus mogelijk maakt. Hij heeft ook een optie genaamd Rapid Cool to Cool die de wachttijd na het ontdooien elimineert. Voor uw systeem betekent dit meer productiecycli per ploeg.
Met behulp van gepatenteerde Polycold®-koelmiddelmengsels werkt de MaxCool volgens het Meissner-opvangprincipe. Waterdamp wordt opgevangen door condensatie op een cryogeen gekoeld oppervlak, een Meissner-spoel genoemd. De Meissner-spoel (cryospoel) is rechtstreeks in de vacuümkamer gemonteerd, zodat de geleiding niet wordt beperkt door poorten, spruitstukken, kleppen en baffles. De cryospoel is eenvoudig te installeren en kan worden aangepast aan elk systeem.
Er is geen hoogvacuümklep nodig.
MaxCool cryochillers zijn de meest kosteneffectieve upgrade die u kunt toevoegen aan elk diffusiegepompt, turbogepompt of helium-cryogepompt systeem.
MaxCool cryochillers voldoen aan de Europese normen voor koelmiddelen (EG 1005/2009), het Montreal Protocol en de Amerikaanse EPA SNAP.
Voordelen
- -98 tot -133C (183 tot 140K)
- Warmteafvoer tot 4000 watt
- Cryocondenseert waterdamp in vacuümsystemen met snelheden tot 220.000 l/sec Vacuümniveaus tot 5 x 10-8 torr (7 x 10-8 mbar)
- Theoretische maximale pompsnelheid 328.000 l/s
- Verhoogde productiviteit met de optie voor snelle afkoeling
- Optie voor stroombeheer om de eigendomskosten te minimaliseren
- Temperatuurregeling
- Gepatenteerde Green-koelmiddelvulling is wereldwijd conform, niet-toxisch en niet-ontvlambaar
- Gebaseerd op Polycold bewezen, innovatieve, betrouwbare gemengde gaskoeling
- Voldoet aan EU PED en MD
- TUV Rheinland genoteerd aan NRTL/CANADA veiligheidsnormen
- ISO 9001:2008 gecertificeerde fabrikant