반도체 건식 펌프

진공 혁신 분야의 글로벌 벤치마크

더 낮은 보유비용으로 더욱 친환경적이고 더욱 신뢰할 수 있는 솔루션

iXM 저에너지 건식 펌프는 여러분의 가장 중요한 어플리케이션에 더 길어진 작동 시간, 감소된 환경 영향 및 비용 혜택을 통해 공정에 실질적인 개선을 가져올 수 있습니다.

  • 에너지 효율성의 기본 원리를 통해 투입 전력을 최대 60% 줄일 수 있습니다. 동시에 환경 영향과 보유 비용도 낮춥니다.
  • 가스 장벽 기술 및 열 설계를 개선하여 부식 저항성을 기존 시리즈에 비해 네 배 강화하였습니다.
  • 파우더 처리 성능 또한 개선되어 신뢰성을 최대로 전달하며 다중 식각 공정용 펌프의 수명을 연장하고 CVD 공정에 대한 전력 소비가 감소되었습니다.
  • 작고 가벼운 디자인, 놀랍도록 낮은 소음과 진동이 결합되어 더욱 다용도로 이용할 수 있습니다.
  • 부식 저항성 강화를 위한 Xcede 기술과 함께 이용할 수 있습니다.

iXH 건식 펌프는 극심한 공정 조건에서 뛰어난 성능과 신뢰성을 발휘하고 보유비용도 낮아 건식 펌프의 새로운 기준을 제시합니다.

  • 넓은 온도 범위로 응결 및 플레이팅에서 누적되는 부산물을 최소화할 수 있도록 펌프 최적화가 가능합니다.
  • iXH Mk2 건식 펌프는 가장 harsh한 공정에서도 더욱 긴 서비스 수명을 제공하며 전력 효율성을 크게 개선할 수 있습니다.
  • 혁신적인 펌프 밀봉 기술로 공정 수명을 연장하고 누출 위험을 줄일 수 있습니다.
  • 부식 저항성 강화를 위한 Xcede 기술과 함께 이용할 수 있습니다.

iXL 시리즈는 저에너지 소형 건식 펌프로 웨이퍼 처리, PVD, 측량과 같은 경량 어플리케이션에 적합합니다.

  • 신속한 챔버 펌프 다운 및 매우 낮은 전력 소비량 
  • iXL600(N)과 iXL1000(N) 건식 펌프 제품군은 시중에 나와 있는 클린 어플리케이션용 펌프 중 가장 작고 조용한 펌프입니다. 
  • iXL600M과 iXL1000M 변형 제품들은 절연체(산화물) 식각 및 기타 유사한 어플리케이션용으로 강화되었으며 특별히 고안되었습니다. 
  • iXL600(N) 및 iXL1000(N) 건식 펌프는 빠른 펌핑 속도와 낮은 에너지 소비량이 특징입니다.
  • iXL900R은 현재 FPD 로드로크 어플리케이션으로 이용할 수 있는 동급 펌프 중 로드로크 펌프가 가장 빠른 펌프입니다. 고객들은 이 새로운 펌프의 운영비용과 설치 시간을 상당히 줄일 수 있습니다. 이 펌프는 플라스마 증착(PVD) 어플리케이션에 사용되는 가장 큰 loadlock 챔버에 특히 잘 맞습니다. 또한 고객들은 로드로크 챔버 당 더 적은 펌프가 필요하게 되어 설치 시간, 시스템화 비용, 유지보수 횟수, 유틸리티 소비를 줄일 수 있습니다.
  • 친환경 모드를 이용하면 휴지 시간에 유틸리티 사용을 줄일 수 있어 비용을 절감할 수 있으며 환경 보호에 도움이 됩니다.