Spectra

Spectra - 친환경 요건 충족

가스처리 (Abatement)

• 독특한 4단 연소 기술

• 효율적인 SiH4 저감

• 높은 H2 유량 저감 용량

• 고유량 NF3/F2의 탁월한 관리

• 높은 NH3 유량 저감 용량

• 모듈형 디자인 가스처리 및 입자 관리

• 파우더 제거 효율 80%

산성 가스 스크러빙

• 통합 습식 스크러버

• 용수 소비 최적화를 위한 용수 재순환 유닛

파우더 포획

Spectra ZW2 - 입자 제거 기능 탑재 수냉식 저감 장치

• 모듈형 습식 정전 집진기(WESP)

• 입자 99% 제거

• 대용량 파우더 처리 가능

• 대체 가능한 솔루션과 관련한 낮은 보유비용 여기에서 업데이트하세요