Edwards, 연구용 기계에 이상적인 공냉식 건식 펌프 제품군 신규 출시

2017년 9월 6일 (수)

이 스마트한 기기는 전 세계적으로 일관성 있는 작동을 통해 단상 전원 공급으로부터 시스템이 향상된 성능 안정성을 누릴 수 있도록 한다. 수동, 간단한 원격 통신 또는 표준 직렬 통신 제어 옵션을 선택할 수 있으며, 시스템 구축 시 유연한 제어 옵션이 가능하다. 이 펌프는 비접촉식 무오일 매커니즘으로 최대 5년의 서비스 주기를 지키면 최대 수명을 운영할 수 있다.




최초 챔버 펌프 다운 도중에는 이 지능적인 순간 과부하 보호 기능으로 더 높은 전력이 짧은 시간 동안 가동될 수 있도록 하며, 따라서 펌프가 챔버를 대기압에서 작동 압력으로 진공화할 수 있도록 한다. 더 높은 시작 전원 부스트를 통해 펌프가 최초 가스 부하를 견딜 수 있으며, 일단 작동 압력에 이르고 나면 더 적은 전력이 필요하다.




이러한 신규 single phase 펌프에는 nxL110i 및 nxL200i의 두 가지 옵션이 있으며, 두 가지 모두 LCMS(액체 크로마토그래피 - 질량 분석기) 및 ICPMS(유도 커플 플라스마 질량 분석기) 작업용으로 최적화되어 있으며 최대 25slm의 가스 부하를 다룰 수 있다.




Edwards 연구용 진공 솔루션 사업부 Senior Product Manager인 Dave Goodwin은 "성능은 당사의 새로운 nXLi 건식 펌프의 중심에 있다."라고 전했다. "우리는 Edwards 반도체 건식 펌프의 iXL 제품군을 기반으로 개발되었기에 성능이 입증되어 안심할 수 있는 이 새로운 제품군을 출시하게 되어 매우 기쁘다."




제품에 대한 자세한 사항을 알아보세요: https://www.edwards/en/our-markets/semiconductor-and-electronics/dry-pumps

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