Your browser is not supported

더 이상 지원하지 않는 브라우저를 사용하고 있습니다. 저희 웹 사이트를 계속 방문하려면 다음 지원되는 브라우저 중 하나를 선택하십시오.

진공 연결은 전도도에 어떤 영향을 미칩니까?

진공학 교과서, 교육 과정과 여러 세대에 걸쳐 전해지는 지혜를 통해 우리는 ‘모든 진공 연결은 최대한 짧고 넓어야 한다’고 배웁니다. 그런데 이렇게 하지 않으면 어떻게 될까요? 규정 미준수의 결과는 무엇일까요?

진공 기술에서 전도도란 무엇을 의미할까요?

진공 용어인 두 지점 사이의 전도도 C는 (구성 요소를 통한) 가스 처리량 Q를 압력 강하(ΔP)로 나눈 값으로 정의됩니다. 여기서 Pup은 시스템의 업스트림 압력이고 Pdown은 다운스트림 압력입니다.

Conductance formula

여기서 S는 진공 시스템 내 아무 지점에서의 펌핑 속도입니다.

가스 흐름 기전은 연속체(분자와 분자 간의 충돌의 작용을 결정), 분자(분자와 벽의 충돌이 작용을 결정) 및 이러한 두 영역 간의 전이 흐름 영역으로 구분됩니다.

(293K 공기의 경우) 아래 그림은 저마다 직경이 다른 1미터 길이 파이프의 전도도를 도표를 나타낸 것으로, 압력 전도도는 긴 파이프의 경우 1/길이에 따라 달라집니다.

graphics

1미터 길이 파이프의 전도도

분자 흐름의 경우 전도도는 압력(여기서는 <~0.01mbar)과는 독립적이며, 연속 흐름 전도도는 압력(여기서는 >~1mbar) 및 전환 흐름의 선형 함수이고 극압 의존성의 '혼합물'입니다.

이것은 실제 진공계에서는 무엇을 의미할까요?

 몇 가지 예를 통해 확인해보겠습니다.

1. (2번 휘어지는) 5m NW40 전방선이 있는 XDS35i 스크롤 펌프의 순 펌핑 속도에는 어떤 영향은 줍니까?

graphics

293K 공기의 경우

XDS35i

1. 펌프 입구 2. 전방선 입구

(파이프 전도도가 가장 높은) 고압은 순 속도에 영향을 주지 않음을 확인할 수 있습니다. 그러나 <10mbar(50% 손실)에서는 백분율 차이가 더 뚜렷해지며 시스템의 최종 압력에서만 무시할 수 있는 수준이 됩니다(순 속도가 0).

2.게이트 밸브가 있는 시스템

(약 1,700l/s라는 비교적 큰 분자 전도도를 가지는) ISO100 게이트 밸브 통해 챔버에 직접 연결되는 터보 분자 펌프(TMP)가 있는 시스템을 고려해보십시오. 아래 그래프에는 TMP 속도 범위(Sdown)에서의 순 시스템 속도(S up)가 표시되는데, 분자 흐름 조건에서 전도도가 거의 손실되지 않습니다.

graphics
BGV 20ISO 20 Group
Edwards nEXT300 Turbomolecular Pump