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Gamma di chiller criogenici MaxCool di Edwards

Chiller criogenici MaxCool

Per affrontare le sfide

Rapido raggiungimento dei livelli di vuoto più bassi

Questi chiller criogenici possono essere utilizzati per catturare il vapore acqueo e altre sostanze condensabili congelandoli su una superficie fredda, ad esempio una spirale criogenica o un deflettore. I chiller MaxCool vengono utilizzati anche per raffreddare e riscaldare oggetti come i mandrini elettrostatici utilizzati nella lavorazione di wafer semiconduttori. I diversi modelli della nostra gamma offrono 2.000, 2.500 o 4.000 watt di raffreddamento.

Pompaggio del vapore acqueo

Il vapore acqueo è in genere il contaminante più reattivo presente nei sistemi ad alto vuoto. Con i nostri chiller criogenici MaxCool è possibile aspettarsi un aumento della produttività del sistema esistente dal 20% al 100% e una migliore qualità dei depositi.

Vantaggi di MaxCool

  • Tempi di evacuazione dell'alto vuoto ridotti fino al 75%
  • Aumento della produttività dal 20% al 100%
  • Minore pressione parziale del vapore acqueo durante la lavorazione per una maggiore qualità, una migliore adesione e una deposizione maggiormente riproducibile del film
  • Superiore in termini di costo/prestazioni rispetto ai Meissner raffreddati all'azoto liquido
  • Riduzione al minimo dei costi di proprietà grazie al sistema di gestione dell'energia
  • Raffreddamento e riscaldamento ad alta capacità per un'ampia varietà di processi

Chiller criogenici MaxCool Polycold Edwards 2500 l

Se aggiunti al sistema da vuoto, i chiller criogenici MaxCool sono in grado di ridurre drasticamente i tempi di evacuazione e di aumentare la produttività del prodotto. MaxCool pompa il vapore acqueo entro pochi minuti dall'avvio e può effettuare lo sbrinamento in meno di quattro minuti, garantendo un ciclo estremamente rapido. È inoltre disponibile l'opzione "Rapid Cool to Cool", che elimina il periodo di attesa dopo lo sbrinamento, consentendo al sistema di eseguire più cicli di produzione per turno.

Utilizzando miscele di refrigerante Polycold® brevettate, i nostri chiller criogenici MaxCool si basano sul principio di intrappolamento Meissner. Il vapore acqueo viene catturato per condensa su una superficie raffreddata criogenicamente, chiamata bobina Meissner, montata direttamente nella camera a vuoto, in modo che la conduttanza non sia limitata da porte, collettori, valvole e deflettori. La bobina criogenica è facile da installare e può essere adattata a qualsiasi sistema. Non necessita di una valvola per alta vuoto.

I chiller criogenici MaxCool costituiscono l'upgrade più economico che è possibile aggiungere a qualsiasi sistema con pompa a diffusione, pompa turbo o criogenica all'elio.

I chiller criogenici MaxCool sono conformi ai refrigeranti per applicazioni europee (CE 1005/2009) al Protocollo di Montreal e a EPA SNAP statunitense.

Vantaggi

  • Aumento della produttività con l'opzione "rapid cool to cool"
  • Opzione per la gestione dell'alimentazione per ridurre al minimo i costi di proprietà
  • Controllo della temperatura
  • Il carico di refrigerante ecologico brevettato è conforme a livello globale non tossico e non infiammabile
  • Basato sul collaudato, innovativo e affidabile raffreddamento a gas misto Polycold®
  • Conforme alle norme UE PED ed MD
  • Certificato TUV Rheinland secondo gli standard di sicurezza NRTL/CANADA
  • Produttore certificato ISO 9001:2008

Specifiche dei modelli MaxCool

 

MaxCool 2000

MaxCool 2500L

MaxCool 4000H

Capacità di raffreddamento massima

2.000 W

2.500 W

4.000 W

Temperatura alla capacità di raffreddamento massima

-111 °C

-120 °C

-98 °C

Temperatura più bassa

-142 °C

-145 °C

-133 °C

Pressione di esercizio finale (25% della velocità di pompaggio massima)

3E-9 torr

8E-10 torr

5E-8 torr

Area trappola fredda tipica

1,1 m2

1,4 m2

2,2 m2

Massima velocità di pompaggio del vapore acqueo dalla tipica area trappola fredda

163.900 l/s

208.600 l/s

327.800 l/s

Area trappola fredda massima conservativa*

1,5 m2

2,0 m2

2,8 m2

Consumo elettrico (modalità standby)

5,5 kW

11,4 kW

12,0 kW

Consumo elettrico (modalità raffreddamento, carico tipico)

6,2 kW

13,9 kW

12,4 kW

Consumo elettrico (modalità raffreddamento, carico massimo)

8,8 kW

19,2 kW

19,2 kW

Flusso dell'acqua di raffreddamento per 13 °C

6,8 l/min

15,1 l/min

15,1 l/min

Flusso dell'acqua di raffreddamento per 18 °C

9,1 l/min

18,2 l/min

18,2 l/min

Flusso dell'acqua di raffreddamento per 24 °C

13,6 l/min

27,3 l/min

27,3 l/min

Flusso dell'acqua di raffreddamento per 29 °C

27,6 l/min

54,1 l/min

54,1 l/min

Conformità PED europea

Refrigeranti atossici

Refrigeranti non infiammabili