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Sistema UHV

Edwards offre una gamma di pompe ioniche, pompe a sublimazione di titanio, pompe Getter non evaporabili e accessori esclusivi della Gamma Vacuum.

Le tecnologie di pompaggio di cattura creano ambienti ad alto vuoto (HV) e ultra alto vuoto (UHV) per una varietà di applicazioni, che vanno dagli spettrometri di massa portatili agli acceleratori di particelle su larga scala. Sono in grado di creare il vuoto più basso possibile a costi contenuti.

Pompe ioniche

Le pompe ioniche, note anche come pompe ioniche sputter o getter, sono pompe di cattura che ionizzano i gas utilizzando una matrice anodica/catodica. Gli ioni polverizzano i materiali catodici reattivi, creando una reazione chimica che trasforma i gas ionizzati in composti solidi. Questi composti non contribuiscono più a pressurizzare il sistema per vuoto e vengono catturati in modo permanente all'interno della pompa ionica. Le pompe ioniche possono funzionare a una pressione compresa tra 10-5 e 10-12 mbar con una portata di azoto che va da 0,2 a 1.200 l/s.

Pompa ionica di titanio

Pompe a sublimazione di titanio

Le pompe a sublimazione di titanio funzionano mediante il riscaldamento di un filamento di titanio e la sublimazione (conversione da fase solida a fase gassosa) di molecole di titanio su una superficie. Le molecole di titanio sublimate diventano quindi disponibili a reagire chimicamente con gas reattivi, come ossigeno e azoto, e a dissociare e diffondere idrogeno. Funzionano a una pressione compresa tra 10-5 e 10-12 mbar con velocità di pompaggio superiori a 10.000 l/s di idrogeno. 

Pompa ionica a sublimazione di titanio

Pompe Getter non evaporabili (NEG)

I NEG sono metalli reattivi pressati su substrati solidi o sinterizzati in dischi. È stato dimostrato che una specifica combinazione di zirconio, vanadio e ferro funziona in modo ottimale per gli ambienti HV e UHV. La quantità di materiale utilizzato controlla la velocità e la capacità della pompa NEG. In genere la velocità varia tipicamente da 55 a 412 l/s, mentre la capacità da 630 a 3600 Torr l/s. Man mano che le pompe NEG si saturano di gas, possono essere riattivate senza sfiato nell'atmosfera.

Cartuccia NEG N200

SPC-NEG

Un controller NEG moderno in un design compatto, ottimizzato in termini di prestazioni e costi, con funzionalità aumentate per raggiungere un ultra alto vuoto nel modo più conveniente per la tua applicazione.

I controller DIGITEL SPC-NEG azionano le pompe NEG con un'elevata velocità di pompaggio per l'idrogeno, tipo di gas più importante nel vuoto ultra alto. A differenza degli alimentatori elettrici standard, il controller SPC-NEG non solo trasmette corrente al riscaldatore della pompa NEG, ma utilizza procedure predefinite con determinati parametri, come i valori di corrente o la durata del riscaldamento. Tali valori vengono scelti dal controller SPC-NEG a seconda della pompa NEG collegata. Le procedure sono personalizzabili per consentire esperimenti con diversi parametri. Il funzionamento si dimostra affidabile grazie al rilevamento a circuito aperto e alla protezione da sovraccarico.

Un ampio touchscreen aumenta la facilità di utilizzo e l'interfaccia Ethernet ne consente il controllo remoto.

Controller DIGITEL SPC-NEG

Vibrazioni meccaniche eliminate

Le pompe di cattura non hanno parti mobili, per cui disturbi come vibrazioni o rumore di parti elettriche vengono eliminati.

Resistenza alle alte temperature

Le pompe di cattura sono realizzate con materiali che resistono alle radiazioni superiori a 108 Gray. Connettori e cavi sono realizzati con gli stessi materiali per garantire il funzionamento continuo.

Tolleranza alle alte temperature

Senza particolari elementi da prendere in considerazione, le pompe di cattura possono tollerare fino a 250 °C di temperatura. Eliminando i magneti si può raggiungere una temperatura massima di 450 °C. Le cotture ad alta temperatura prolungate sono essenziali per qualsiasi sistema UHV.

Manutenzione regolare eliminata

Per le pompe di cattura praticamente non è richiesta manutenzione, sono ermeticamente chiuse all'atmosfera per evitare costosi eventi di vuoto, risparmiando tempo, denaro e risorse.

Bassi costi di esercizio iniziali

I costi iniziali sono in genere inferiori alle specifiche comparabili di altri tipi di pompe per vuoto. Consumi energetici minimi o nulli per anni di costi di esercizio bassi

Vacuum Equipment for Ultra High Vacuum Applications Brochure

PDF

6.7 MB

Vacuum Equipment for Analytical Applications Brochure

PDF

6.7 MB