Più ecologiche e più affidabili con un costo di gestione ridotto
La nostra innovativa gamma di pompe a secco è dotata di una tecnologia all'avanguardia, progettata per migliorare l'ambiente di produzione dei semiconduttori e dei componenti elettronici.
Ogni gamma è stata progettata appositamente per offrire vantaggi in termini di prestazioni ambientali, affidabilità in condizioni difficili e agilità nelle applicazioni leggere.
- Serie iXM: consumo energetico ridotto e prestazioni elevate
- Serie iXH per ambienti difficili
- Serie iXL per applicazioni leggere
Serie iXM: consumo energetico ridotto e prestazioni elevate
Le pompe a secco a basso consumo energetico della serie iXM possono apportare reali miglioramenti di processo grazie all'aumento dei tempi di attività, all'impatto ambientale ridotto e ai vantaggi in termini di costi per le applicazioni più critiche.
- Il meccanismo Roots ad alta efficienza energetica è in grado di ridurre fino al 60% la potenza in ingresso, riducendo l'impatto ambientale e abbassando i costi di gestione
- La tecnologia di barriera contro i gas e le ottimizzazioni del design termico consentono una resistenza alla corrosione quattro volte superiore rispetto alla nostra serie precedente
- Le funzionalità avanzate di gestione delle polveri garantiscono la massima affidabilità e una maggiore durata della pompa per i processi di incisione multistrato
- Consumo energetico ridotto per i processi CVD
- Il design compatto e leggero, unito a rumorosità e vibrazioni eccezionalmente basse, offre una maggiore versatilità
- La serie iXM è disponibile con tecnologia XCEDE per una maggiore resistenza alla corrosione.
Serie iXH per ambienti difficili
La gamma di pompe a secco iXH stabilisce nuovi standard in termini di capacità, affidabilità e riduzione dei costi di proprietà per i processi più difficili.
- L'ampio intervallo di temperatura consente di ottimizzare la pompa per un accumulo minimo di sottoprodotti da condensazione e placcatura
- Le pompe a secco iXH Mk2 garantiscono una durata ancora maggiore nei processi più difficili e possono offrire significativi miglioramenti nell'efficienza energetica
- L'innovativa tecnologia di tenuta delle pompe può aumentare la durata dei processi e ridurre il rischio di perdite
- Disponibile con tecnologia XCEDE per una maggiore resistenza alla corrosione.
Serie iXL per applicazioni leggere
La serie iXL è una gamma di pompe a secco compatte a basso consumo energetico per applicazioni leggere, ad es. movimentazione di wafer, PVD e metrologia.
- Rapida evacuazione della camera e consumo energetico estremamente basso
- Le pompe a secco iXL600(N) e iXL1000(N) sono tra le più piccole e silenziose pompe disponibili per applicazioni leggere
- Le varianti iXL600M e iXL1000M sono sottoposte a processo di polimerizzazione e progettate appositamente per l'incisione dielettrica (ossido) e altre applicazioni simili
- Le pompe a secco iXL600(N) e iXL1000(N) sono caratterizzate da un'elevata velocità di pompaggio e da un basso consumo energetico
- Attualmente, il modello iXL900R è la pompa con blocco del carico più veloce della categoria per applicazioni con blocco del carico FPD. Questa nuova pompa, particolarmente adatta alle più grandi camere di blocco del carico utilizzate per le applicazioni con deposizione in fase di vapore al plasma (PVD), consente ai clienti di ridurre significativamente i costi operativi e i tempi di installazione. Inoltre, i clienti avranno bisogno di meno pompe per camera di blocco del carico, riducendo i tempi di installazione, i costi di sistemizzazione, la manutenzione e i consumi.
- La funzione Green Mode consente di ridurre i consumi durante i periodi di inattività, abbassando i costi e contribuendo a migliorare le prestazioni ambientali
Le pompe a secco a basso consumo energetico della serie iXM possono apportare reali miglioramenti di processo grazie all'aumento dei tempi di attività, all'impatto ambientale ridotto e ai vantaggi in termini di costi per le applicazioni più critiche.
- Il meccanismo Roots ad alta efficienza energetica è in grado di ridurre fino al 60% la potenza in ingresso, riducendo l'impatto ambientale e abbassando i costi di gestione
- La tecnologia di barriera contro i gas e le ottimizzazioni del design termico consentono una resistenza alla corrosione quattro volte superiore rispetto alla nostra serie precedente
- Le funzionalità avanzate di gestione delle polveri garantiscono la massima affidabilità e una maggiore durata della pompa per i processi di incisione multistrato
- Consumo energetico ridotto per i processi CVD
- Il design compatto e leggero, unito a rumorosità e vibrazioni eccezionalmente basse, offre una maggiore versatilità
- La serie iXM è disponibile con tecnologia XCEDE per una maggiore resistenza alla corrosione.
La gamma di pompe a secco iXH stabilisce nuovi standard in termini di capacità, affidabilità e riduzione dei costi di proprietà per i processi più difficili.
- L'ampio intervallo di temperatura consente di ottimizzare la pompa per un accumulo minimo di sottoprodotti da condensazione e placcatura
- Le pompe a secco iXH Mk2 garantiscono una durata ancora maggiore nei processi più difficili e possono offrire significativi miglioramenti nell'efficienza energetica
- L'innovativa tecnologia di tenuta delle pompe può aumentare la durata dei processi e ridurre il rischio di perdite
- Disponibile con tecnologia XCEDE per una maggiore resistenza alla corrosione.
La serie iXL è una gamma di pompe a secco compatte a basso consumo energetico per applicazioni leggere, ad es. movimentazione di wafer, PVD e metrologia.
- Rapida evacuazione della camera e consumo energetico estremamente basso
- Le pompe a secco iXL600(N) e iXL1000(N) sono tra le più piccole e silenziose pompe disponibili per applicazioni leggere
- Le varianti iXL600M e iXL1000M sono sottoposte a processo di polimerizzazione e progettate appositamente per l'incisione dielettrica (ossido) e altre applicazioni simili
- Le pompe a secco iXL600(N) e iXL1000(N) sono caratterizzate da un'elevata velocità di pompaggio e da un basso consumo energetico
- Attualmente, il modello iXL900R è la pompa con blocco del carico più veloce della categoria per applicazioni con blocco del carico FPD. Questa nuova pompa, particolarmente adatta alle più grandi camere di blocco del carico utilizzate per le applicazioni con deposizione in fase di vapore al plasma (PVD), consente ai clienti di ridurre significativamente i costi operativi e i tempi di installazione. Inoltre, i clienti avranno bisogno di meno pompe per camera di blocco del carico, riducendo i tempi di installazione, i costi di sistemizzazione, la manutenzione e i consumi.
- La funzione Green Mode consente di ridurre i consumi durante i periodi di inattività, abbassando i costi e contribuendo a migliorare le prestazioni ambientali