Spectra

Spectra : la réponse à vos besoins environnementaux

Traitement


• Technologie de combustion unique en quatre phases


• Traitement efficace du SiH4


• Grande capacité de traitement des flux de H2


• Excellente gestion des flux élevés de NF3/F2


• Grande capacité de traitement du NH3


• Conception modulaire de la gestion du traitement et des particules


• Enlèvement de 80 % des poudres


Lavage des gaz acides


• Système de lavage intégré


• Unité de recirculation d’eau pour optimiser la consommation d’eau


Captation des poudres


Spectra ZW2 : traitement refroidi par eau avec enlèvement de particules


• Précipitateur électrostatique humide modulaire


• Enlèvement de 99 % des particules


• Grande capacité de traitement de la charge de poudre


• Faibles coûts de possession par rapport aux autres solutions semblables Mettre à jour