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iTrap® Process Gas Analyzers

Sehen, wo Sie zuvor blind waren

Image of the Edwards process gas analyser iTrap


iTrap® is a compact, highly sensitive ion trap Fourier Transform mass spectrometer. It is an ideal tool for process analysis and inline process control. It can be used in R&D and production environments. iTrap supports you reliably in detecting the smallest traces of reaction byproducts or contamination, it helps you to investigate effectiveness of cleans and analyze chamber health. A mass spectrum is measured in almost real time, and you can trace very small amounts of molecules in your process chamber. iTrap is a powerful tool in the hands of a researcher or process development engineer and can also be used as an intelligent sensor integrated and controlled by other process tool equipment.


Vorteile

Edwards iTrap überzeugt durch: 

  • Schnelligkeit | Echtzeitmessungen möglich, volles Spektrum in < 0,5 Sek.
  • Empfindlichkeit | Messung sehr kleiner Konzentrationen 
  • Kompaktheit | Kann in eine Prozesskammer integriert werden. Standardisierte Softwareschnittstelle für externe Chemikalien. 
  • Robustheit gegen Korrosion | Inerte Oberfläche, keine Detektoren. Hält H2, Cl, F und anderen aggressiven Chemikalien stand.