Edwards erfüllt die neuen Treibhausgasrichtlinien der Vereinten Nationen

Edwards erfüllt die neuen Treibhausgasrichtlinien der Vereinten Nationen

Zu den strengeren IPCC-Richtlinien gehören die Bilanzierung der Bildung von CF4-Nebenprodukten und Emissionen.

„Das IPCC hat erkannt, dass es eine Lücke zwischen der Menge des in der Atmosphäre gemessenen Treibhausgases und der Menge gibt, die aus dem Bestand bekannter Emissionsquellen berechnet wird“, erklärt Prof. Mike Czerniak, Visiting Industrial Professor, Bristol University, und Environmental Solutions Business Development Manager bei Edwards. „Die Lücke ist von besonderer Bedeutung für Gase wie Perfluorverbindungen (PFC), die nicht nur über ein außerordentlich hohes Treibhauspotenzial (GWP) verfügen, sondern auch eine extrem lange Lebensdauer von bis zu 50.000 Jahren in der Atmosphäre haben.“

Es wurden zwei neue Mechanismen für die PFC-Bildung während der Halbleiterfertigung identifiziert und Emissionsfaktoren zum neuesten Kenntnisstand des IPCC hinzugefügt:

1) CF4-Bildung bei der Reinigung chemischer Dampfablagerung (CVD) von Kammerablagerungen.

2) CF4-Bildung durch Reaktion von Fluor mit Kohlenwasserstoffbrennstoff in verbrennungsbasierter Abgasreinigung in Systemen, die Treibstoff- und Prozesskammerabgase vermischen.

„Zum ersten Mal gibt es einen neuen Emissionsfaktor für die verbrennungsbasierte Abgasreinigung von Fluor – jetzt ist eine direkte Rechenschaftspflicht in Form einer datengestützten Zertifizierung des Geräteherstellers erforderlich, damit die Reaktion minimiert wird“, so Prof. Czerniak. „Die PFC-Bildung kann durch die Bauweise einer geeigneten Verbrennungseinheit minimiert werden.”

Die von Edwards hergestellte Verbrennungseinheit nach innen verhindert das Mischen von Kammerauslass und Kraftstoff, das in anderen Konstruktionen dazu führen kann, dass PFC erzeugt wird, das nicht im ursprünglichen Abgasstrom vorhanden war. Das niedrigere, gleichmäßigere Temperaturprofil der nach innen gerichteten Verbrennungseinheit gewährleistet einen hohen Zerstörungsgrad (DRE) bei geringer NOx-Erzeugung. Seit der Gründung des Unternehmens in den 1990er Jahren sind nach innen gerichtete Verbrennungseinheiten bei den Abgasreinigungssystemen von Edwards Standard.

Besuchen Sie uns bei der SEMICON West am Stand #750, um mehr über die neuesten IPCC-Richtlinien und Best Practices zur Reduzierung von Treibhausgasen zu erfahren. Die SEMICON West findet vom 9. bis 11. Juli in San Francisco, Kalifornien, statt.