Edwards stellt integrierte Abgasreinigungslösungen auf der SEMICON® Korea vor

„Edwards erforscht ständig neue Möglichkeiten, um Betriebskosten zu senken, die Produktivität zu steigern und die Qualität des Endprodukts zu erhöhen. Daher freuen wir uns, unsere integrierten Lösungen auf der SEMICON Korea vorstellen zu dürfen“, so Charles Lee, Market Sector Manager, Edwards. „Indem wir Vakuum- und Abgasreinigungssystem in einem einzelnen Gerät kombinieren, wie es bei der EZENITH™-Produktfamilie der Fall ist, schaffen wir zahlreiche Vorteile: höhere Prozesszuverlässigkeit, sichererer Betrieb, schnellerer Anlauf und niedrigere Gesamtbetriebskosten. Bei unseren integrierten Systemen stellen unsere kompetenten Anwendungsexperten die bestmögliche Konfiguration aus Vakuumpumpen, Abgasreinigungssystemen, Abgasrohren und Rohrtemperaturmanagementsystemen zusammen, um zuverlässige, vorhersagbare Leistung bei möglichst niedrigen Betriebskosten bieten zu können.“

Außerdem stellen wir dieses Jahr trockene Pumpen mit einem Ökomodus vor, der den Energieverbrauch um bis zu 95 Prozent senken kann. Folgende Baureihen sind damit ausgestattet:

• Die trockenen Pumpen der Baureihen iXL120 und iXL200 – die kleinsten und leichtgewichtigsten Pumpen für Schleusensysteme und Reinraum-Anwendungen,
• die iXH – eine trockene Pumpe, die speziell für anspruchsvolle Fertigungsumgebungen entworfen wurde,
• die iXM – eine trockenlaufende Pumpe mit niedrigem Energieverbrauch, die höchste Zuverlässigkeit und lange Pumpenlebensdauer bietet,
• und die STP Maglev-Turbomolekularpumpe, die Komplettlösung für Anwendungen mit hohem Volumenstrom wie Halbleiter-, FPD-, LED- und Solarpanelfertigung.
  
  „Wir freuen uns, dieses Jahr wieder an der SEMICON Korea teilnehmen und unsere integrierten Sub-Fab-Systeme vorstellen zu dürfen“, so Charles Lee. „Wir entwickeln und vertreiben inzwischen seit fast 15 Jahren Vakuum- und Abgasreinigungssysteme und weltweit wurden mehr als 1.000 unserer Systeme installiert. Tatsächlich wird der Großteil unserer trockenen Pumpen in Korea hergestellt und weltweit exportiert. Wir verfügen also über ausreichend Erfahrung, auf die sich unsere Kunden verlassen können.“ „Wir laden alle Teilnehmer und Besucher der SEMICON Korea ein, uns am Stand 5104 zu besuchen. Unsere Anwendungsexperten beraten Sie gerne zu den Vorteilen integrierter Vakuum- und Abgasreinigungssysteme“.