Halbleiterfabrik spart über 1400 Stunden Prozesswerkzeugzeit ein
Der Wert eines einzelnen hochmodernen Halbleiterwafers wird auf $17000* geschätzt. Schon der Ausfall eines einzigen Prozesswerkzeugs kann die Produktion unterbrechen und sofort zu Einbußen bei der Wafer-Produktionsmenge, dem Ertrag und der Zykluszeit führen. Für die Rentabilität ist die maximale Betriebszeit der Prozesswerkzeuge entscheidend.
Aufgrund von begrenzten Einblicken in die Leistungsfähigkeit des Vakuum- und Abgasreinigungssystems und dessen Auswirkungen auf die Verfügbarkeit von Prozesswerkzeugen, musste diese Halbleiterfabrik nach einem zeitbasierten Instandhaltungsansatz arbeiten.
Die zeitbasierte Wartung, deren Intervalle einzig durch das Alter und die Laufzeit der SubFab-Anlagen bestimmt wurden, konnte das Risiko von Ausfällen nicht vollständig eliminieren. Ein großer Ersatzteilbestand musste immer verfügbar gehalten werden, was die Lieferketten zusätzlich unter Druck setzte. Außerdem wurden unerwartete Anforderungen an die Wartungsteams gestellt, um zusätzlichen Support zu bieten.
Die Instandsetzung nimmt mehr Zeit in Anspruch
Für den Fall, dass das Vakuum- und Abgasreinigungssystem unerwartet ausfällt, wurde die Reinigung, Wiederherstellung und Neuqualifizierung des Prozesswerkzeugs mit mindestens 500 Stunden Werkzeugzeit pro Jahr beziffert. Diese Zahl ergibt sich aus 75 Prozesswerkzeugen, von denen jedes 6–7 Stunden zusätzliche Wartung pro unvorhergesehenem Stopp erfordert.
Minderung des Risikos von Stillstandzeiten
Wenn die Halbleiterfabrik ihre Wachstums- und Leistungsziele erreichen wollte, war eine zeitbasierte Wartung nicht ausreichend. Unerwartete Stillstandzeiten mussten um jeden Preis vermieden werden. Aber ohne genügend Einblicke, um die Ursachen systemischer Probleme schnell zu identifizieren, war eine verstärkte Routinewartung die einzige Option.
Die Fabrik stand vor der Herausforderung, das richtige technische Know-how in der SubFab-Umgebung einzusetzen. Infolgedessen wuchs die Frustration zwischen den Reinraum- und SubFab-Teams, was zu einer inkonsistenten Kommunikation und einem Mangel an ausgetauschten Daten führte.
6–7 Stunden zusätzliche Wartung pro Ausfall: Instandsetzung = 18 Stunden im Vergleich zu planmäßiger Wartung = 11,5 Stunden
Auf der Suche nach einer effektiveren und genaueren Methode zur Vermeidung des Risikos von Ausfällen hat sich dieses Werk an uns gewandt.
*Quelle: BERICHT des CSET (Center for Security and Technology), 2020
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