แผ่นรองหัวเตาแบบใช้ซ้ําได้ Liner Pro ช่วยลดเวลาหยุดทํางานที่ไม่คาดคิด
ตั้งแต่การเปลี่ยนไปใช้ซ้ําได้: Liner Pro ลดความเสี่ยงและต้นทุนการหยุดทํางานของระบบบําบัดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างไร
ในโลกที่เปลี่ยนแปลงอย่างรวดเร็วของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การรักษาการดําเนินงานที่ปลอดภัย มีประสิทธิภาพ และมีความรับผิดชอบต่อสิ่งแวดล้อมเป็นสิ่งสําคัญ ระบบบําบัดก๊าซมีความสําคัญอย่างยิ่งในการสนับสนุนเป้าหมายเหล่านี้ โดยจะทําให้ก๊าซอันตรายที่เกิดขึ้นในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น PECVD และการสะสมของฟิล์มบางเป็นกลาง โดยใช้ห้องเผาไหม้ที่เผาไหม้เข้าด้านใน ในขณะที่โรงงานแสวงหาปริมาณงานที่สูงขึ้นภายใต้งบประมาณที่แคบลง ส่วนประกอบการบําบัดแบบดั้งเดิม - โดยเฉพาะอย่างยิ่งปลอกสูบเตาเผา - กําลังกลายเป็นปัญหาคอขวดที่มีราคาแพงและไม่ยั่งยืน นี่คือเหตุผลที่ Edwards ได้พัฒนา Liner Pro ซึ่งเป็นการเปลี่ยนแปลงอย่างก้าวหน้าในประสิทธิภาพของปลอกสูบ
เหตุใดระบบบําบัดจึงมีความสําคัญ
หากไม่มีการบําบัดที่มีประสิทธิภาพ ก๊าซเสียที่เป็นพิษและเป็นอันตรายต่อสิ่งแวดล้อมจะก่อให้เกิดความเสี่ยงร้ายแรงต่อความปลอดภัยของพนักงานและการปฏิบัติตามกฎระเบียบด้านสิ่งแวดล้อม อย่างไรก็ตาม ความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพของระบบเหล่านี้ขึ้นอยู่กับส่วนประกอบ โดยเฉพาะอย่างยิ่งปลอกสูบหัวเตา ซึ่งทนทานต่อสภาวะที่รุนแรง ทนต่ออุณหภูมิสูงถึง 1,000oC ที่ด้านในและ 50oC ที่ด้านนอก สําหรับกระบวนการที่สมบุกสมบันและหนักหน่วง จําเป็นต้องเปลี่ยนบ่อยครั้งเนื่องจากมีความเปราะบางและการอุดตันจากการสะสมของผง ซึ่งนําไปสู่ต้นทุนการบํารุงรักษาที่เพิ่มขึ้น การหยุดทํางาน และความกังวลเกี่ยวกับของเสียและความยั่งยืนที่เพิ่มขึ้น
ความท้าทายของปลอกสูบหัวเตา
สําหรับโรงงานหลายแห่ง ปลอกสูบหัวเตาเป็นหนึ่งในชิ้นส่วนอะไหล่ที่มีราคาแพงที่สุดในระบบบําบัดของพวกเขา อัตราการสิ้นเปลืองสูงส่งผลกระทบอย่างมากต่อต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ (TCoO) โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อมีการเปลี่ยนปลอกสูบระหว่างช่วงการซ่อมบํารุงทุกครั้ง บางครั้งแม้กระทั่งก่อนที่จําเป็นต้องใช้ เพียงเพื่อหลีกเลี่ยงความเสี่ยงของการหยุดทํางานที่ไม่คาดคิด
ความท้าทาย ได้แก่
- ไม่สามารถซ่อมแซมได้: เมื่อใช้หรือสึกหรอแล้ว จะไม่สามารถซ่อมแซมได้ ต้องทิ้งและเปลี่ยนใหม่
- การจัดการสินค้าคงคลังที่ซับซ้อน: บ่อยครั้งที่จัดการแบบรีแอคทีฟ ซึ่งนําไปสู่ความไม่มีประสิทธิภาพและต้นทุนการบริหารจัดการที่เพิ่มขึ้น
- ความเสี่ยงของห่วงโซ่อุปทาน: การวางแผนเฉพาะกิจอาจส่งผลให้เกิดความล่าช้าและการขาดแคลน
- ผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อม: การทิ้งแผ่นบุรองที่ใช้แล้วมีส่วนทําให้เกิดของเสียจากวัสดุ ซึ่งขัดแย้งกับเป้าหมายด้านความยั่งยืน
เมื่อกฎระเบียบด้านสิ่งแวดล้อมเข้มงวดขึ้นและโรงงานแสวงหาแนวทางปฏิบัติที่มีความรับผิดชอบมากขึ้น ความต้องการโซลูชันที่สามารถนํากลับมาใช้ซ้ําได้และคุ้มค่าก็กลายเป็นเรื่องเร่งด่วนมากขึ้นเรื่อยๆ
ในอุตสาหกรรมที่เวลาทํางาน ความปลอดภัย และความยั่งยืนมีความสําคัญสูงสุด การอัปเกรดเป็นโซลูชันที่เป็นนวัตกรรม เช่น Liner Pro เป็นมากกว่าการปรับปรุงทางเทคนิค ซึ่งเป็นข้อได้เปรียบเชิงกลยุทธ์ ไม่ว่าคุณจะต้องการลดต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ ลดความซับซ้อนในการวางแผนการปรับปรุงเตาเผา หรือรับรองการเข้าถึงชิ้นส่วนอะไหล่แท้ Liner Pro จะมอบคุณค่าที่วัดได้สําหรับโรงงานสมัยใหม่