00,02 | Vi förändrar paradigmet för hur underfabriken fungerar, är utrustad och servad.
Optimera utrymmeseffektiviteten med Ganymede: Mindre fotavtryck, större effekt
I takt med att halvledarindustrin fortsätter att utvecklas har kostnaderna för Fab-utrymme skyrocketerat, vilket driver tillverkare att maximera antalet verktyg i det tillgängliga utrymmet. Traditionellt förväntas underfabricerad utrustning passa in i verktygets fotavtryck som projiceras från fab ovan. Detta utgör en utmaning eftersom vakuumpumpens fysiska storlek är direkt relaterad till dess pumpkapacitet, vilket skapar en konflikt mellan önskemålet om mindre pumpar och behovet av högre kapacitet och hastighet.
För att möta dessa växande krav har Ganymede konstruerats för att vara 30 % mindre än äldre pumpar, vilket erbjuder en banbrytande lösning för subfab-chefer som vill frigöra utrymme utan att kompromissa med prestandan. Genom att minska pumpens fotavtryck gör Ganymede det möjligt för tillverkare att kapitalisera på värdefulla Fab-fastigheter, vilket gör det möjligt att integrera fler verktyg i samma utrymme.
Viktiga fördelar med Ganymedes mindre fotavtryck:
• Ökad genomströmning: Ganymedes kompakta design möjliggör effektivare användning av utrymmet, vilket gör det möjligt att lägga till fler verktyg i maskinen, vilket ökar genomströmningen och produktiviteten
• Minskade CO2-utsläpp: Ganymedes mindre storlek och förbättrade prestanda bidrar till lägre energiförbrukning, vilket hjälper tillverkarna att minska sitt koldioxidavtryck och uppfylla hållbarhetsmålen
• Underhållseffektivitet: Trots sin minskade storlek är Ganymede utformad för enkel service, vilket säkerställer att underhållsuppgifter kan utföras snabbt och säkert, utan de komplikationer som ofta förknippas med staplade eller packade system.
Platsbesparande
För att hålla jämna steg med minskningen av verktygsstorleken måste vakuumpumparnas storlek minska med 20-30 %. Ganymede möter denna utmaning direkt och tillhandahåller en lösning som inte bara sparar utrymme utan även levererar den pumpkapacitet och hastighet som krävs för att bibehålla topprestanda.
För subfab-chefer som vill optimera både prestanda och utrymmesanvändning erbjuder Ganymede en nästa generations lösning som uppfyller kraven i dagens halvledartillverkningsmiljö.
Upptäck de utrymmesbesparande fördelarna med Ganymede och hur det kan hjälpa dig att öka genomströmningen och minska CO2-utsläppen.
Läs mer om projektet ganymede
