Edwards Proteus
Edwards Proteus maakt een effectieve behandeling van PFC's en andere aardopwarmende gassen mogelijk zonder het gebruik van aardgas of andere koolwaterstoffen.
Proteus is een energiezuinige, gebruiksvriendelijke en kosteneffectieve oplossing om de koolstofvoetafdruk van de halfgeleiderproductie te verkleinen.
- Laag vermogen, hoog rendement Plasmatechnologie
- Plasmavermogensmodulatie
- Lage NOx-uitstoot
- Lange MTBS
- Uptime-bescherming met Proteus Dual
- Een unieke plasmatechnologie met laag vermogen die een hoge vernietigingsgraad (DRE) van PFC-gassen zoals CF4 en andere aardopwarmingsgassen zoals SF6, NF3 en N2O bereikt. Dit maakt Proteus tot een van de meest kosteneffectieve oplossingen voor de bestrijding van opwarmende gassen uit productieprocessen voor halfgeleiders.
- Het bedrijfsvermogen van Proteus Plasma is volledig instelbaar op basis van de inkomende gasbelasting, waardoor gebruikers het stroomverbruik kunnen minimaliseren en tegelijkertijd een optimale behandelingsefficiëntie kunnen handhaven. De interface met het proceshulpmiddel en de automatische Plasma Power Modulation bieden verdere mogelijkheden om de bedrijfskosten te verlagen en tegelijkertijd de hoogste milieuprestaties te handhaven.
- Voor de bestrijding van PFC-gassen zijn hoge temperaturen nodig die de vorming van NOx-gassen bevorderen. De Proteus Plasma-technologie werd ontwikkeld om de uitstoot van 'thermische NOx' tot een minimum te beperken en is nu een van de toonaangevende PFC-reductiesystemen met een laag NOx-gehalte.
- De vernietiging van PFC-moleculen heeft de neiging om de zuurbelasting te verhogen door de vorming van giftige en corrosieve in water oplosbare verbindingen. De Proteus Plasma toorts en natte scrubbingstappen zijn speciaal ontworpen om corrosie van componenten tot een minimum te beperken. In combinatie met een uitstekende poederverwerkingscapaciteit kan Proteus een lange MTBS bereiken en tegelijkertijd een veilige werkomgeving in de fabriek handhaven.
- Proteus Dual biedt een volledig geïntegreerde 'back-up'-oplossing om de beschikbaarheid van bestrijding te garanderen zonder dat ingewikkelde leidingen en interfaces nodig zijn. Proteus Dual is een kosteneffectieve, eenvoudig te installeren oplossing. Het helpt de uptime van het proces te handhaven, de voetafdruk en installatiekosten te verminderen en tegelijkertijd de veiligheid van de subfab te verbeteren.
Praat met ons over hoe Proteus u kan helpen uw milieudoelstellingen te behalen.
