Ontdekkingen op het gebied van bestrijding stimuleren innovatie in de hele fabriek

Het risico op mislukte demonstraties voor klanten uitsluiten.

Het snelle innovatietempo in de halfgeleiderindustrie en de toenemende marktverwachtingen betekenen dat R&D-omgevingen de pijplijn van nieuwe procestechnologie vol moeten houden.

Prototypes en demotools moeten zonder onderbreking beschikbaar zijn voor testen en demonstratie. De enige aanvaardbare productdemo is een foutloze demo. Een cruciale experimentele testrun kan een nieuwe productontwikkeling maken of breken. Ongeplande reducties kunnen het verschil maken tussen het winnen of verliezen van de betrokkenheid van een grote halfgeleiderproducent.

Het experimentele en variabele karakter van het onderzoeks- en ontwikkelingswerk zorgt voor onvermijdelijke schommelingen in het vacuüm- en bestrijdingssysteem. Het risico van een onverwachte uitval kan niet worden voorkomen met een op tijd gebaseerd onderhoudsschema.

Om ongeplande downtime-gebeurtenissen in hun belangrijkste proces- en technologieontwikkelingslaboratorium te voorkomen, moest het SubFab-team de status van bestrijdingsapparatuur dagelijks handmatig bijhouden.

Dit handmatige proces van gegevensregistratie was tijdrovend, onderhevig aan menselijke fouten en alleen toegankelijk voor het SubFab-team. De procestoolmanagers, die het meest worden beïnvloed door de prestaties van de apparatuur, hadden geen idee van de huidige status van de SubFab. Bovendien konden beide teams geen onderhoudsschema's op een effectieve manier delen.