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누출 감지

Edwards 누출 감지기: ELD500 과 GasCheck G3 (헬륨) 제품

작은 틈도 시스템에서 원치 않는 가스 유입 또는 유출로 이어질 수 있습니다.

누출양은 주어진 압력 차이로 시간당 누출을 통과하는 가스량을 기준으로 누출의 크기를 설명합니다.

진공 장치나 시스템은 완벽 진공 상태가 될 수 없을뿐더러 실제로 그럴 필요도 없습니다. 간단하게는 누출율이 충분히 낮은 기준으로만 유지한다면 진공에 필요한 압력, 가스 균형 및 극한 압력이 영향을 받지 않습니다. 

필요한 압력 레벨이 낮을수록 장비의 가스 조임 정도에 대한 요구 사항이 더 엄격해집니다.