Spectra 배기부 관리 시스템은 최신 세대 평면 패널 디스플레이(FPD)와 태양광 셀 제조 공정에 대한 비용 효과적이며 믿을 수 있는 고성능 저감 솔루션입니다.
가스처리 (Abatement)
• 독특한 4단 연소 기술
• 효율적인 SiH4 저감
• 높은 H2 유량 저감 용량
• 고유량 NF3/F2의 탁월한 관리
• 높은 NH3 유량 저감 용량
• 모듈형 디자인 가스처리 및 입자 관리
• 파우더 제거 효율 80%
산성 가스 스크러빙
• 통합 습식 스크러버
• 용수 소비 최적화를 위한 용수 재순환 유닛
파우더 포획
Spectra ZW2 - 입자 제거 기능 탑재 수냉식 저감 장치
• 모듈형 습식 정전 집진기(WESP)
• 입자 99% 제거
• 대용량 파우더 처리 가능
• 대체 가능한 솔루션과 관련한 낮은 보유비용 여기에서 업데이트하세요
