2차 펌프는 작동하려면 1차 펌프를 이용해 처음 ‘마중물을 붓거나’ 연속 작동을 지원받아야 합니다. 안전하고 최적화된 성능을 보장하기 위해 1차 및 2차 펌프를 올바르게 조합하거나 ‘매칭’하려면 다양한 요소를 고려해야 합니다.
올바른 펌프 조합 선택이 중요한 이유는 무엇입니까?
펌프를 잘못 선택하면 '정체된' 확산 펌프(및 주요 오일 오염)에서 터보 분자 펌프 과열에 이르는 심각한 결과가 초래될 수 있습니다.
다음은 이러한 요구 사항에 대한 설명과 일반적인 예시입니다.
1차 및 2차 펌프는 어떤 용도로 사용합니까?
기본 진공 펌프(PP)는 대기압을 공급하는 펌프입니다. 오일 밀봉 회전식(OSRV), 다이어프램, 스크롤, 다단계 루트, 피스톤, 스크류 및 수봉식 드라이 펌프 등이 있습니다.
2차 펌프(SP)는 작동하려면 1차나 때로는 다른 2차 펌프를 이용해 필요한 압력이 될 때까지 최초 배출을 실행해야 합니다. 대표적인 예는 오일 확산 펌프(ODP), 터보 분자 펌프(TMP), 증기 부스터(VB), 기계식 부스터(MB), 이온 게터 펌프(IGP), 티타늄 승화 펌프(TSP), 무증발 게터(NEG), 극저온, 분자 드래그 및 회생 펌프입니다.
연속 작동하려면 보조 펌프가 필요한 경우도 있습니다. 대표적인 예는 ODP, TMP 및 VB 펌프입니다.
1차 및 2차 펌프를 매칭할 때 고려해야 하는 요소
PP와 SP를 매칭할 때는 다양한 요소를 고려해야 합니다.
- SP가 펌핑 공정을 '인계'할 때까지 PP에 적용되는 초기 펌프 가동 중단 시간. SP가 PP와 동시에 시작되며 SP가 '시간 초과'되지 않으려면 지정된 시간에 해당 압력에 도달해야 하는 경우에는 특히 더 중요한 요소입니다.
- SP가 시작될 때의 가스 흐름 최초 ‘급증’ 및 압력 급증. nXDS15i 스크롤이 PP이고 nEXT300D가 보조 TMP인 아래 그림에서 확인할 수 있습니다. 이 경우 SP(nEXT300D)가 펌핑을 '인계’하는 순간 처리량 급증이 압력 증가와 대응하게 됩니다.
이렇게 하면 아래에서처럼 압력이 PP에서 약 1.5mbar까지 상승합니다.
- 최대 배킹 압력(MBP)/임계 배킹 압력(CBP)을 초과해선 안 됩니다. 따라서 최대 가스 흐름이 제한됩니다. PP는 PP의 최고/공칭 속도를 가정하는 대신 필요한 배킹 압력에서 충분한 속도 성능을 발휘해야 합니다.
- 제조업체는 흐름 포함이 아닌 0 흐름에 대해 MBP 값을 인용할 수 있습니다.
- 청결함(건조 펌프가 필요합니까?)
- PP를 SP와 상호 교환할 수 있어야 합니까?
- (특히 압축과 관련하여 TMP와 함께 사용할 경우) PP의 일반적인 잔류 대기는 무엇입니까? 예를 들어 H 2 에 대한 TMP의 압축비가 상대적으로 낮다면 배킹 펌프의 H 2 분압이 높을 경우 달성 가능한 최종 압력이 제한될 수 있기 때문에 이 문제를 반드시 고려해야 합니다.
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