Pompes sèches pour semi-conducteurs

Les pompes sèches à faible consommation énergétique de la série iXM d'Edwards peuvent apporter de réelles améliorations de procédé en augmentant le temps d'utilisation, en réduisant l'impact environnemental et en optimisant la rentabilité de vos applications les plus essentielles.

• Econome en énergie, le mécanisme Roots peut faire baisser l'alimentation d'entrée de 60 %, réduisant ainsi l'impact environnemental et les coûts de possession
• Notre technologie étanche aux gaz et les améliorations de conception thermique multiplient par quatre la résistance à la corrosion par rapport à notre précédent modèle
• Les fonctions avancées de traitement des poudres offrent une fiabilité maximale et une durée de vie de la pompe prolongée pour les procédés de gravure multicouche 
• Consommation d'énergie réduite pour les procédés CVD
• La conception compacte et légère, associée à des niveaux sonores et de vibration exceptionnellement bas, vous confère plus de souplesse
• La série iXM est disponible avec la technologie XCEDE pour une meilleure résistance à la corrosion.
  
   

La gamme de pompes sèches iXH pose de nouvelles normes en matière de performances, de fiabilité et de coûts de possession dans des conditions difficiles.

• La plage de températures étendue vous permet d'optimiser la pompe pour une accumulation minimale de sous-produits issus de la condensation et du placage
• Les pompes sèches iXH Mk2 présentent une durée de vie encore plus longue dans les conditions les plus difficiles et peuvent améliorer sensiblement le rendement énergétique
• La technologie innovante des joints de la pompe peut prolonger la durée de vie des procédés et réduire les risques de fuite
• Disponible avec la technologie XCEDE pour une résistance à la corrosion améliorée.
  
   

La gamme iXL se compose de pompes sèches compactes à faible consommation énergétique destinées à des applications légères telles que la manipulation de plaquettes, le PVD et la métrologie.

• Pompage de chambre rapide et très faible consommation électrique 
• Les pompes sèches iXL600(N) et iXL1000(N) font partie des modèles les plus compacts et les plus silencieux destinés aux applications légères 
• Les modèles iXL600M et iXL1000M ont fait l'objet d'un durcissement et ont été spécialement conçus pour la gravure (oxyde) diélectrique et d'autres applications similaires 
• Les pompes sèches iXL600(N) et iXL1000(N) affichent des vitesses de pompage élevées et une faible consommation énergétique
• La pompe de sas iXL900R est actuellement la plus rapide de sa catégorie pour des applications de sas FPD. Cette nouvelle pompe permet aux clients de réduire considérablement leurs coûts de fonctionnement et leurs temps d'installation, car elle est particulièrement bien adaptée aux chambres de sas les plus grandes utilisées dans le cadre d'applications de dépôt en phase vapeur activé par plasma (PVD). En outre, les clients auront besoin de moins de pompes par chambre de sas, réduisant ainsi le temps d'installation, les coûts de systémisation, l'entretien et la consommation énergétique.
• Un mode écologique permet de réduire la consommation énergétique pendant les périodes de veille, faisant ainsi baisser les coûts de fonctionnement et améliorant vos performances environnementales.