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In-Board Cryopumps new label

Accélérez l'intégration et améliorez le fonctionnement du système

Les pompes cryogéniques On-Board®, dotées de commandes entièrement intégrées et de périphériques de prise en charge, offrent un temps de fonctionnement supérieur et des performances constantes pour augmenter la productivité globale et la durée de fonctionnement de l'outil.

 

Principales caractéristiques

  • Capacité Fast Regen™ qui augmente les performances de la pompe cryogénique entre les régénérations
  • Capacité de régénération simultanée, permise par la mise en réseau de vos pompes cryogéniques, qui accélère la régénération globale du système
  • Contrôle par microprocesseur intégré afin d'améliorer les performances, d'effectuer des opérations courantes de diagnostic et d'apporter une possibilité de communication
  • Logiciels sophistiqués et interfaces graphiques simples d'utilisation afin d'améliorer sensiblement les performances et le fonctionnement

Modèle de pompe cryogénique On-Board 4F 8 8F 10 10F 250F 400 500
Vitesses de pompage - litres/seconde
Vapeur d'eau 1 100 4 000 4 000 9 000 9 500 6 500 17 500 30 000
Air 370 1 500 1 500 3 000 3 600 2 200 6000 10 000
Hydrogène 370 2 500 2 200 5 000 6000 3 200 12000 12000
Argon 310 1200 1200 2 500 3 000 1 800 5 000 8 400
Capacité - litres standard
Argon 210 1 000 1 000 2 000 2 000 1 000 2 500 6000
Hydrogène (5x10-6 Torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
Temps de régénération nominal (froid à froid)
Premier et deuxième étages 75 min 2,5 h 2,5 h 2,5 h 2,5 h <3,3 h 3 h <3,8 h
Deuxième étage <1 h <1 h <1 h <1 h <1 h <1,5 h <1,5 h -

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