Les pompes à vide On-Board® CTI-Cryogenics d'Edwards accélèrent l'intégration et améliorent le fonctionnement du système. Elles constituent la référence mondiale en matière de fiabilité et de performances.
Les pompes cryogéniques On-Board®, dotées de commandes entièrement intégrées et de périphériques de prise en charge, offrent un temps de fonctionnement supérieur et des performances constantes pour augmenter la productivité globale et la durée de fonctionnement de l'outil.
| Modèle de pompe cryogénique On-Board | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Vitesses de pompage - litres/seconde | ||||||||
| Vapeur d'eau | 1 100 | 4 000 | 4 000 | 9 000 | 9 500 | 6 500 | 17 500 | 30 000 |
| Air | 370 | 1 500 | 1 500 | 3 000 | 3 600 | 2 200 | 6000 | 10 000 |
| Hydrogène | 370 | 2 500 | 2 200 | 5 000 | 6000 | 3 200 | 12000 | 12000 |
| Argon | 310 | 1200 | 1200 | 2 500 | 3 000 | 1 800 | 5 000 | 8 400 |
| Capacité - litres standard | ||||||||
| Argon | 210 | 1 000 | 1 000 | 2 000 | 2 000 | 1 000 | 2 500 | 6000 |
| Hydrogène (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Temps de régénération nominal (froid à froid) | ||||||||
| Premier et deuxième étages | 75 min | 2,5 h | 2,5 h | 2,5 h | 2,5 h | <3,3 h | 3 h | <3,8 h |
| Deuxième étage | <1 h | <1 h | <1 h | <1 h | <1 h | <1,5 h | <1,5 h | - |
