BURGESS HILL, WEST SUSSEX, ROYAUME-UNI (29 mai 2019) – Le Groupe d’experts intergouvernemental sur l’évolution du climat (GIEC), l’organisme des Nations unies chargé d’évaluer les informations scientifiques en rapport avec la question du changement du climat, vient de publier la dernière révision de ses lignes directrices de 2006. Dans le cadre de la lutte contre le changement climatique, ces nouvelles réglementations renforcent le contrôle des gaz à effet de serre utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs et accroissent les exigences imposées aux fabricants en matière de déclaration et de responsabilité.
« Le GIEC constate la présence d’un écart entre les quantités de gaz à effet de serre mesurées dans l’atmosphère et les quantités calculées à partir de l’inventaire des sources d’émission connues », explique Mike Czerniak, professeur invité de génie industriel à l’université de Bristol et responsable du développement de solutions pour l’environnement chez Edwards. Il ajoute : « Cet écart est particulièrement important pour des gaz tels que les composés perfluorés (PFC), lesquels présentent non seulement des potentiels de réchauffement planétaire (PRP) exceptionnellement élevés, mais aussi des durées de vie extrêmement longues dans l’atmosphère, de l’ordre de 50 000 ans ». Deux nouveaux mécanismes de formation de PFC au cours de la fabrication de semi-conducteurs ont été identifiés, et des facteurs d’émission ont été ajoutés à la dernière révision des lignes directrices du GIEC : 1) Formation de CF4 lors du nettoyage des dépôts chimiques en phase vapeur (CVD) dans les chambres. 2) Formation de CF4 par réaction du fluor avec des hydrocarbures en traitement par combustion dans des systèmes mélangeant le combustible et les effluents de la chambre de procédé.
« Pour la première fois, il existe un nouveau facteur d’émission pour le traitement par combustion du fluor. Une responsabilité directe est désormais applicable : le fabricant de l’équipement doit certifier, à l’aide de données, que la réaction est réduite », précise le professeur Czerniak. « Une conception adéquate du groupe de combustion permet de réduire la formation de PFC. » Le groupe de combustion interne d’Edwards évite tout mélange des gaz d’échappement de la chambre et du carburant qui, dans d’autres conceptions, peut entraîner la production de PFC alors qu’ils n’existaient pas dans le flux d’échappement d’origine. Le profil de température plus faible et plus uniforme du groupe de combustion interne assure un bon rendement de destruction et d’efficacité (RDE) et de faibles émissions de NOx. Les groupes de combustion internes sont installés par défaut sur les systèmes de traitement de gaz d’Edwards depuis que l’entreprise a commencé leur développement dans les années 1990. Rendez-vous chez Edwards (stand no 750) lors du salon SEMICON West pour en savoir plus sur les dernières directives du GIEC et les meilleures pratiques de réduction des émissions de gaz à effet de serre. Le SEMICON West se tiendra du 9 au 11 juillet 2019 à San Francisco, en Californie.