nEXT 机械涡轮分子泵

Edwards nEXT 机械涡轮分子泵

涡轮分子泵是一种多级轴流式涡轮机,其中的高速旋转叶片通过增加气体沿泵送方向移动的可能性来实现压缩。涡轮分子泵针对分子气流条件进行了优化,并需要适当规格的前级泵才能将气体排到大气中。

nEXT 系列出色的性能

nEXT 旨在结合涡轮分子泵的所有最新技术进展,使最终用户可维护并提供真正的一流产品。提供的泵规格可真正实现每秒 85、240、300、400 升的泵速性能,nEXT 系列 (N2) 现已增加每秒 700 和 900 升的泵速性能。

传统的涡轮分子泵转子的设计既可以实现高速,也可以实现高压缩性能。为了两者兼顾,nEXT 转子上的叶片排列已完全重新设计,以优化泵性能并同时实现更高的速度和更高的压缩性能。最终,不同规格的泵都拥有了出色的泵送性能。

新款——nEXT730 和 nEXT930 涡轮分子泵

Edwards 引以为豪地推出 nEXT 产品系列的两款新产品—— nEXT730 和 nEXT930。
凭借 nEXT730 和 nEXT930 这两款抽取氮气速度远超 700 l/s 和 900 l/s 的全新特大型泵,Edwards 拓展了市场领先的 nEXT 平台的范围。

除了满足有时需要更快抽取速度的一般研发市场外,这些泵还设计用于满足镀膜市场和其他分散市场领域的需求,例如热处理、炉应用、电子束焊接、蚀刻、离子注入 、脱气和气瓶抽空。

Edwards nEXT730 和 nEXT930 涡轮分子泵视频

Edwards nEXT730 和 nEXT930 涡轮分子泵是 Edwards nEXT 系列的最新产品,性能一流,可靠性强且拥有成本低。我们久经考验且值得信赖的 nEXT 泵已生产逾 80,000 台,在此基础之上,我们现为要求更苛刻的全新领域及应用带来更快的抽取速度和更高的灵活性。这些新型号采用 ISO/CF 160 和 ISO/CF 200 入口法兰选件,从而提升了 nEXT 的处理能力,抽取速度超过 900 l/s。


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Edwards nEXT730 和 nEXT930 涡轮分子泵视频概览

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Edwards 推出 nEXT85 涡轮分子泵

nEXT85 是广受欢迎的 Edwards nEXT 系列涡轮分子泵的最新成员。它建立在广受欢迎的 EXT 系列基础之上,具有更高的性能、改进的功能和优势,且占地面积更小。Edwards 的产品经理 John Wood 将为您介绍这一优质新款涡轮分子泵。


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Edwards nEXT85 涡轮分子泵动画

客户可选的标准型及压缩性能更高的型号越来越多,Edwards nEXT85 涡轮分子泵能够提供出色性能,满足所有需求,同时它也是市场上同类产品中体积最小的泵。


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nEXT85——踏上真空泵还未涉足的征途......

为了获得最低压力,我们决定将新款 nEXT85 发射到距离地球 32 公里的太空边缘......而事实上我们所要做的仅仅是打开它。

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查看我们 nEXT 系列泵的制造地点

nEXT 的制造中心。我们的 Lutin 制造工厂自 1999 年起开始运营,是 Edwards 设在捷克共和国的全球制造基地。该工厂占地 13,000 平方米,拥有 80 多种精密制造工具、最先进的 550 平方米 ISO 7 级无尘车间,并拥有 450 名员工。

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出色的抽取速度和压缩比

卓越的性能

庞大的涡轮泵安装底座

可靠性久经考验,让您高枕无忧

提供定制设计服务

灵活的解决方案

集成的智能控制装置

易于使用

最终用户可完全维护

延长使用寿命,降低拥有成本

客户选择更多

各种标准型号

  nEXT85 nEXT240 nEXT300 nEXT400
入口法兰   DN40 DN63 ISO-K 或 DN63CF DN100 ISO-K  DN100 ISO-K  或 DN100CF DN100 ISO-K  或 DN100CF DN160 ISO-K  或 DN160-CF
入口抽取速度 ls-1 N2 47 84 84 240 300 400
Ar 44 80 80 230 280 380
He 61 78 80/78 (D/H) 230 340 390
H2 49/44 (D/H) 60/54 (D/H) 60/54 (D/H) 165 280 325
压缩比 (D) N2 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
Ar >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
He 8 x 106/2 x 107 (D/H) 3 x 105 1 x 106 1 x 108
H2 2 x 105/5 x 105 (D/H) 1 x 104 5 x 104 5 x 105
压缩比 (T/H) N2       >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
He       1 x 106 3 x 106 >1 x 108
H2       1.5 x 104 1 x 105 1 x 106
  nEXT730D nEXT930D
ISO-K 160 CF 160 ISO-K 200 CF 200
主入口
抽取速度
N2 ls-1 730 925
He ls-1 820 905
H2 ls-1 715 735
Ar ls-1 665 865
从后备口到主入口的最大压缩比
N2 >1x1011 >1x1011
He 1.2X108 1.2X108
H2 4X106 4X106
Ar >1x1011 >1x1011
极限压力 (mbar) (CF) 3.0X10-10 3.0X10-10
重量 (Kg) 14.6 19.6 15.4 21.7
全速处理能力:
N2 14 14
He 21 21
H2 >14 >14
Ar 3.5 3.5
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