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真空测量

为了有效控制和监测流程,真空计对于任何真空系统都是至关重要的,因此,根据您的特定需求做出正确选择很重要。

  • 分析:我们的有源真空计在多年的实践经验中均证明了其可靠性,可让您在构建复杂系统时高枕无忧。我们的数字式真空计 (nAPG/nAIM/nWRG) 具有与模拟式真空计相同的占地面积,升级从未如此简单。
  • 工业:严苛的工艺往往非常难以满足。但是,凭借我们专用的工业型/耐腐蚀型标准真空计,以及工业目标产品(如 ASG2),我们可以再次确保您的系统测量。 
  • 半导体:长期以来,Edwards 一直是许多主要半导体客户的可靠合作伙伴。我们的 APG100 系列非常适合监测前级管道压力/一般压力,凭借我们领先的全新 Barocel 7000 电容压力计系列,我们现在可为您需要高精度和速度的流程提供支持。
  • 研发:随着项目越来越深入地推进至 UHV,确保能够测量环境也非常重要。我们的无源压力计具有市场领先的量程,可测量 2e-12mbar 的压力,同时耐受辐射。
  • 保养:我们的便携式测量可在无需靠近电源的情况下对系统进行现场检查,确保在将泵重新连接回更广泛的管网之前成功进行保养。我们还可以在校准实验室校准我们所有类型的压力计,以帮助确保您的流程以出色方式运行。