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残余气体分析仪

高性能和可操作性的出色平衡

Edwards RGA 残余气体分析仪

我们的 RGA 有两种型号:二者的操作均简单有效,可确保高性能和高效率   

对于那些想快速查看结果的人来说,这些设备均配有特别的板载显示屏,无需通过笔记本电脑连接即可显示主要气体类型以及系统的整体压力。

PRA 一次气体分析仪

提供高性能和可操作性的出色平衡。

  • 提供四种型号,以满足您的工艺需求,无论您是只需要基本型号,还是需要灵敏度更高/量程更广的产品。
  • PRA 是分析您流程的完美起点。

WRA 宽量程残余气体分析仪

出色产品,技术规格市场领先。

  • 可提供 1-200 amu 或 1-300 amu 两种型号,您可以测量制程中的各种气体/副产品。 
  • 与 PRA 相比,该产品具有更高的灵敏度,可提高测量精度。

总压力测量

实现完整的制程控制

双真空计丝

实现高可靠性和长运行时间

设备显示屏上

用于在不使用 PC 的情况下进行基本测量

客户可自行更换部件
脱气功能
离子源和 EM 的保护
RGA 能对气体及其成分进行分析,此为以下工艺所需:

  • 泄漏检测和发现
  • 查找并识别污染物 
  • 确认气体纯度
  • 产品/流程质量保证
  • 工艺与设备诊断和控制
  • 优化工艺性能和产量

满足各种应用的出色解决方案:

  • 半导体工艺
  • 薄膜和显示屏
  • 真空热处理
  • 真空冷冻干燥
  • 研发
  • 高能物理