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环保解决方案 —— 尾气处理系统

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助力创新人才

我们是了解客户制程的应用专家,制定专注于保持生产效率和降低风险的解决方案。我们的产品服务于所有生产领先制程工具的 OEM,应用于全球每一个主要的半导体工厂,旨在满足现有及正在开发的制程的特定需求。 我们的解决方案将改善制程的正常运行时间、产量、处理能力和安全合规性,同时通过减少环境排放、延长产品使用寿命以及降低持续服务成本,力求平衡经常与之相互冲突的降低拥有成本的需求。