涡旋干泵

新型高性能干式真空泵

Edwards XDS 和 nXDS 系列干式涡旋泵

Edwards 干式涡旋泵为各种应用提供成熟的干式清洁真空解决方案。

Edwards XDS35i 干式涡旋泵

Edwards XDS35i 干式涡旋泵

XDS 干式涡旋泵

在干泵真空领域,XDS 干式涡旋泵已成为行业标准,在广泛的应用中被证明是一种坚固耐用且清洁的真空泵解决方案。

现在,结合专利的双启动涡旋形式技术和旁通阀,Edwards 得以提供 XDS35i 增强型系列泵,以补充我们原有的产品线。

Edwards nXDS15i 干式涡旋泵

Edwards nXDS15i 干式涡旋泵

nXDS 干式涡旋泵

nXDS是我们最新一代的涡旋泵,与其他泵相比,具有更高的抽取速度、更低的极限压力、更低的功耗和更低的噪声级。

nXDS 泵的设计力求实现完全现场维修。其智能控制功能和长达五年的维修间隔可降低拥有成本,使其成为当今技术最先进的首选小型干泵。

轴承护罩

确保制程气体和轴承润滑分离,以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染,从而延长轴承使用寿命。

智能电机驱动

意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。

高流速气囊功能

允许泵送蒸汽,包括高达 240 gh-1 的水蒸汽

简便的单侧涡旋设计

可在数分钟内完成维护,以降低拥有成本并最大程度延长正常运行时间。

更进一步

增强型在初始抽空期间可减少多达 20% 的峰值电力需求,这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室,且在该粗抽压力下抽取速度可提高达 25%,这也有助于提高应用循环频率。

改善工作环境,降低环境影响

运行安静

操作简单

控制装置智能且易于使用

无污染、无油

全密封、免润滑的真空环境

低使用成本

服务间隔长,功耗低

更快的制程

卓越的蒸汽处理

Edwards nXDS 旋转动画

请观看运行中的 nXDS(带剖面动画)。仅由 Edwards 提供

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Edwards 推出 XDS35i 增强型大型涡旋泵

全新 XDS35i 增强型是 Edwards 久负盛名的大型涡旋泵产品系列的最新成员。

与先前型号一样,XDS35i 增强型采用坚固耐用的成熟平台设计,但性能有所扩展,可为您提供更多机会,从 Edwards 久经考验的 Scroll 技术中受益。

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Edwards 推出 nXDS 涡旋泵

Edwards nXDS 涡旋泵系列已经成为我们最受欢迎的真空泵之一,其性能和可靠性久经考验。

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