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EXS 干式螺杆真空泵

EXS 干式螺杆真空泵

提高了粗抽速度,提升了低压性能,适用于恶劣的工业应用环境

独特的螺杆技术、先进的温度控制和较长的保养间隔

坚固耐用的设计特点

可靠的新型气体系统,配有手动气镇控制装置和美观的金属板保护外壳。

简单的电气策略

内置现成变频器,确保连接和通信的简单性,电柜设计符合 IP54 要求。

功耗低且电耗低

由于功耗低且电耗低,EXS 的碳排放非常低。不产生需要专门处置的废弃或脏污的机油,这也有利于环保。

提高了粗抽速度,提升了低压性能

处理速度更快,抽空时间更短,因而生产效率更高;将低压降至 
< 1 x 10-2

无接触式长效密封件

无接触式长效密封件,配有一体式阻油迷宫密封圈,提供有效的密封性能。

先进的核心技术

先进的优质轴承和具有低蒸气压力的专用油,确保应用兼容性。 

知识与见解

EXS 泵在多个行业内得到广泛的使用,包括:

  • 真空钎焊
  • 电子束焊接
  • 硝基碳化
  • 低压氮化
  • 低压碳化
  • 碳蒸汽浸渍
  • 烧结
  • 金属注射成型
  • 精密熔模铸造
  • 真空电弧精炼
  • 等离子焊接
  • 等离子体氮化
  • 太空模拟舱
  • 气体回收/循环
  • 负载固定舱
  • 硅晶体拉拔 
  • 光伏层压
  • 辊涂/卷绕镀膜
  • 硬涂层 (CVD/DLC)
  •  表面活化
  • 等离子喷涂
  • 玻璃镀膜
规格   单位
常规信息 极限真空 Mbar (Torr) <1 x10-2 (<8x10-3)
峰值抽速 m3/hr (cfm) 740 (435)

极限功率

满载功率

Kw (hp)

8 (11)

22 (30)

转子速度上限值 Rev/min 7500
进口/出口法兰   ISO100/NW50
尺寸 (mm) LxWxH mm (in)

1650 x 613 x 642

(65 x 24.2 x 25.3)

冷却 连接   G1/2" 内螺纹
冷却空气流量(始终打开) l/min (gal/min) 12 (3.2)
供应压力上限值 barg (psig) 7 (100)
温度 °C (°F) 5 - 40 (41 - 104)
净化 连接   G1/2" 内螺纹
压力 barg (psig) 3 – 6.9 (43.5 – 100)
轴封流量(始终打开) l/min 12
气镇流量(手动调节) l/min 1 - 130
运行 环境温度范围 °C (°F) 5 - 40 (41 - 104)
噪声水平(使用消声器时) dB(A) <70
排气背压上限值 bar.a (psig) 1.2 (2.9)
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