SEMI 标准 E175 有助于节省能源和降低成本

2017年6月29日

Environ Award Mike Allison

真空技术半导体部总裁 Mike Allison 向 Mike Czerniak 及团队颁发 2016 年 Atlas Copco 环保奖。(从左至右,Pete Stammers、Mike Czerniak、Mike Allison 和 Gerald Shelley)

6 月版的 SST 杂志正在举办虚拟圆桌会议,重点介绍新的“SEMI E175 子系统节能模式通信规范”、节能以及与“EtherCAT 半导体技术工作组”独特的成功协作方式。Edwards 环境解决方案业务开发经理兼 SEMI E175 新标准联合主席 Mike Cikeniak 以及 Edwards 沟通和控制高级产品经理 Gerald Shelley 是其中两位回答 SST 一些问题的专家。




这新标准定义了节能模式,结合了 EtherCAT 信号标准,可以帮助车间在工具无操作时节省能源和其他公共设施成本,不会影响后续的晶片加工。

有关圆桌讨论的详细信息,请参阅: http://electroiq.com/blog/2017/06/how-semi-standard-e175-is-saving-energy-and-cutting-costs/ Mike Czerniak 及其团队最近获得了 2016 年 Atlas Copco 环保奖,以表彰他们在该领域的工作。

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