Van đặc biệt cho hệ thống chân không

Được thiết kế cho các ứng dụng chuyên dụng

Tại sao lại chọn van đặc biệt?

Van đặc biệt không phải là một loại van mà là một thuật ngữ rộng đề cập đến một loại van được thiết kế cho các ứng dụng cụ thể và chuyên biệt trong hệ thống chân không.

Các van này có nhiều kích cỡ và thiết kế khác nhau, bao gồm thủ công và khí nén và thường kết hợp các tính năng tiên tiến để giải quyết những thách thức cụ thể của các ứng dụng dự định.

Van nạp khí AV5A có khớp nối

AV5A được sản xuất bằng hợp kim nhôm. Nó có một núm điều khiển gắn vào pít-tông vận hành bằng vít: xoay núm điều khiển theo chiều kim đồng hồ để đóng van. Vòng chữ O nitrile làm kín pít-tông với thân van.

Van có thể được kết nối trực tiếp, hỗ trợ đường ống hoặc gắn bảng điều khiển, và được kết nối với hệ thống chân không bằng khớp nối SC5 của Edwards (được cung cấp).

Van nạp khí thủ công đơn giản
Kết nối trực tiếp, hỗ trợ đường ống hoặc gắn bảng
Kết nối qua khớp nối SC5 (được cung cấp)

Van nạp khí AV10K

AV10K được sản xuất và hoạt động giống như AV5A, nhưng được kết nối khác nhau.

Van này chỉ có thể được hỗ trợ trong đường ống và được kết nối với hệ thống chân không bằng một phụ kiện NW10.

Van nạp khí thủ công đơn giản
Chỉ hỗ trợ đường ống
Kết nối qua một phụ kiện NW10

Van thô/phía sau BRV

Van thô/phía sau BRV với đầu cuối thô ISO NW và đầu cuối bơm trước có tính năng kích hoạt thủ công hoặc khí nén. Chúng kết hợp chức năng của các van dự phòng/thô riêng biệt trong một thiết bị 3 cổng tích hợp.

Một đầu nối neoprene linh hoạt được cung cấp cho kết nối phụ. Cổng bơm thô và bơm sơ cấp kết thúc ở đầu nối NW thích hợp.

Dễ vận hành - cả hai cổng đều ở vị trí đóng
Tuổi thọ lâu dài - từ 100.000 lần vận hành trở lên
Chỉ báo vị trí trên van khí nén
Chống rò rỉ tốt hơn 10 ^-9 mbar ls ^-1 /8 x 10 ^-10 Torr ls ^-1

Van nạp khí IPV10EK NW10

IPVA10EK là một van điện từ được thiết kế để tự động đưa khí hoặc khí thông gió vào hệ thống chân không.

Van có hai cổng có mặt bích NW. Một trong các cổng van được kết nối với hệ thống chân không, cổng còn lại có thể để mở với khí quyển hoặc kết nối với nguồn cấp khí thông gió.

Hệ thống chân không được cách ly khỏi khí quyển (hoặc nguồn cung cấp khí thông gió) bằng một miếng đệm fluoroelastomer ở đế pít-tông van, làm kín với thân van.

Tùy chọn thường mở hoặc thường đóng
Kích thước nhỏ
Bảo vệ IP65
MTTF 500.000 chu kỳ

Van bướm xoay quý QSB

Van xoay một phần tư QSB là van cách ly nhỏ gọn, tác động nhanh, độ dẫn điện cao. Van QSB có thân mặt bích ISO bằng thép không gỉ được đánh bóng với tấm van và trục bịt kín bằng vòng chữ O fluoroelastomer. Rãnh vòng chữ O của tấm van được thông gió để giúp duy trì chân không cao ổn định. Vòng chữ O của trục van và ổ trục được bôi trơn bằng mỡ Fomblin® để ngăn chặn vỡ khí từ phía sau gioăng trục.

Van này được cung cấp kèm theo gioăng.

Vận hành thủ công
Độ dẫn điện cao
Chịu được khí quyển theo cả hai hướng
Nhỏ gọn và nhanh chóng
Thiết kế chống ăn mòn

Van cách ly chân không VIV

Van cách ly chân không VIV là một van cách ly chân không cao có độ dẫn điện cao, hoạt động nhanh được thiết kế để ngăn hơi hoặc các hạt di chuyển từ bơm phụ đến buồng xử lý.

Khi VIV đóng, bơm phụ được thông khí một cách an toàn. VIV bảo vệ khoang xử lý khỏi bị thông khí khi bơm dừng hoặc dừng lại. Khi bơm dự phòng được khởi động lại, van sẽ từ từ mở khi áp suất trong VIV giảm xuống, giảm thiểu tác động của bất kỳ nổ áp suất nào.

Van cách ly chân không VIV được thiết kế để sử dụng với dòng bơm sơ cấp khô nhỏ nXDS, XDS, nXLi và nXRi của Edwards.

Độ dẫn điện cao
Đóng nhanh chóng
Bảo vệ chống mất điện
Lắp đặt linh hoạt
Không giới hạn hiệu suất bơm chính
Ngăn hơi hoặc hạt di chuyển từ bơm phụ vào khoang xử lý
Ngăn chặn việc thông khí buồng xử lý trong trường hợp mất điện

Đối với các bơm phụ của Edwards được trang bị đầu nối van M8 hoặc đầu nối giao diện logic loại D 15 chiều, chúng tôi khuyến nghị sử dụng van DC 24V và cáp phụ kiện tùy chọn hoặc VIV Link vì điều này cung cấp mức độ bảo vệ cao hơn.