HIỆU SUẤT KHÔNG GIAN

Khi ngành công nghiệp bán dẫn tiếp tục phát triển, chi phí không gian sản xuất đã tăng vọt, thúc đẩy các nhà sản xuất tối đa hóa số lượng công cụ trong không gian có sẵn. Theo truyền thống, thiết bị subfab được kỳ vọng sẽ phù hợp với diện tích của công cụ được chiếu từ nhà máy ở trên. Điều này đặt ra một thách thức, vì kích thước vật lý của bơm chân không có liên quan trực tiếp đến công suất bơm của nó, tạo ra xung đột giữa mong muốn sử dụng bơm nhỏ hơn và nhu cầu công suất và tốc độ cao hơn.

Để đáp ứng những nhu cầu ngày càng tăng này, Ganymede đã được thiết kế nhỏ hơn 30% so với máy bơm cũ, cung cấp một giải pháp đột phá cho các nhà quản lý subfab đang tìm cách giải phóng không gian mà không ảnh hưởng đến hiệu suất. Bằng cách giảm diện tích bơm, Ganymede cho phép các nhà sản xuất tận dụng tài sản Fab có giá trị, cho phép tích hợp nhiều công cụ hơn trong cùng một không gian.

Lợi ích chính của thiết kế nhỏ gọn hơn của Ganymede:

• Tăng công suất: Thiết kế nhỏ gọn của Ganymede cho phép sử dụng không gian hiệu quả hơn, cho phép thêm nhiều công cụ hơn vào nhà máy, giúp tăng công suất và năng suất

• Giảm phát thải CO2: Kích thước nhỏ hơn và hiệu suất cao hơn của Ganymede góp phần giảm tiêu thụ năng lượng, giúp các nhà sản xuất giảm lượng khí thải carbon và đáp ứng các mục tiêu bền vững

• Hiệu quả bảo trì: Mặc dù kích thước nhỏ hơn, Ganymede được thiết kế để dễ bảo trì, đảm bảo rằng các nhiệm vụ bảo trì có thể được hoàn thành nhanh chóng và an toàn, mà không có các biến chứng thường liên quan đến các hệ thống xếp chồng hoặc nén chặt.

Tiết kiệm không gian

Để theo kịp việc giảm kích thước dụng cụ, diện tích bơm chân không phải giảm 20%-30%. Ganymede đáp ứng thách thức này, cung cấp một giải pháp không chỉ tiết kiệm không gian mà còn cung cấp công suất bơm và tốc độ cần thiết để duy trì hiệu suất cao nhất.

Đối với các nhà quản lý subfab đang tìm cách tối ưu hóa cả hiệu suất và việc sử dụng không gian, Ganymede cung cấp giải pháp thế hệ tiếp theo phù hợp với nhu cầu của môi trường sản xuất chất bán dẫn ngày nay.

Khám phá những lợi ích tiết kiệm không gian của Ganymede và cách nó có thể giúp bạn tăng thông lượng và giảm phát thải CO2.