Edwards följer FN:s nya riktlinjer för växthusgaser
Strängare IPCC-riktlinjer inkluderar redovisning av CF4-biproduktbildning och utsläpp.
BURGESS HILL, WEST SUSSEX, STORBRITANNIEN (29 maj 2019) - Intergovernmental Panel on Climate Change (IPCC), FN:s organ för bedömning av vetenskapen kring klimatförändringar, har precis släppt den senaste förfiningen av sina riktlinjer från 2006. Som en del av arbetet med att bekämpa klimatförändringarna skärper de förfinade förordningarna kontrollen av nya växthusgaser som används vid halvledartillverkning och ökar kraven på rapportering och ansvarsskyldighet för tillverkare.
”IPCC har erkänt att det finns ett gap mellan mängden växthusgaser som mäts i atmosfären och den mängd som beräknas från inventeringen av kända utsläppskällor”, säger professor Mike Czerniak, besökande industriprofessor vid Bristol University och Environmental Solutions Business Development Manager på Edwards. ”Gapet är särskilt viktigt för gaser som perfluorföreningar (PFC), som inte bara har en extraordinärt hög global uppvärmningspotential (GWP) utan också extremt lång livslängd i atmosfären, så långt som 50 000 år.” Två nya mekanismer för PFC-bildning vid halvledartillverkning har identifierats och emissionsfaktorer har lagts till i den senaste IPCC-förfiningen: 1) CF4-bildning vid rengöring av kemiska ångavlagringar (CVD) i kammaren. 2) CF4-bildning genom reaktion av fluor med kolvätebränsle i förbränningsbaserad reduktion i system som blandar bränslet och processkammaravloppet.
”För första gången någonsin finns det en ny utsläppsfaktor för förbränningsbaserad reduktion av fluor – direkt ansvarsskyldighet krävs nu, i form av en databaserad certifiering från utrustningstillverkaren att reaktionen minimeras”, säger professor Czerniak. ”PFC-bildning kan minimeras genom lämplig förbränningskammarens utformning.” Edwards inåtgående förbränningskammare undviker blandning av kammarens avgaser och bränsle som i andra konstruktioner kan leda till produktion av PFC där de inte fanns i den ursprungliga avgasströmmen. Den lägre, mer enhetliga temperaturprofilen hos den inåtgående förbränningskammaren säkerställer en hög förstörelseborttagningseffektivitet (DRE) med låg NOx-generering. Inåtgående förbränningskammare har varit standard i Edwards reduktionssystem sedan företaget började utveckla dem på 1990-talet. Besök Edwards (monter #750) under SEMICON West för att lära dig mer om de senaste IPCC-riktlinjerna och bästa praxis för att minska växthusgaser. SEMICON West äger rum 9-11 juli 2019 i San Francisco, Kalifornien.