Your browser is not supported

Používate prehliadač, ktorý už nepodporujeme. Ak chcete pokračovať v návšteve našich webových lokalít, použite jeden z nasledujúcich podporovaných prehliadačov

Rozsahy tlaku vákuovej technológie a ich charakteristiky

Vo vákuovej technológii je bežné rozdeliť veľmi veľký rozsah prevádzkového tlaku (meniaci sa o viac ako 16 rádov veľkosti (> 1016 )) na samostatné režimy. Tieto sú definované nasledovne:

Hrubé vákuum (RV) je zvyčajne definované ako rozsah 1 000 – 1 mbar, zatiaľ čo stredné vákuum (MV) je 1 – 10 - 3 mbar. Vysoké vákuum (HV) je 10 -3 - 10 -7 mbar, ultravysoké vákuum (UHV) je 10 -7 - (10 -11 ) mbar a extrémne vysoké vákuum (XHV alebo EHV) <10 -11 mbar

    Hrubý podtlak Stredný podtlak Vysoký podtlak Ultra vysoké vákuum
Tlak p [mbar] 1013 – 1 1 – 10-3 10-3 - 10-7 < 10 -7
Hustota počtu častíc n [cm -3] 1019 - 1016 1016 - 1013 1013 - 109 < 109
Stredná voľná dráha λ [cm] < 10 -2 10-2 - 10 10 – 105 >105
Frekvencia nárazov $$Z_a[{cm}^{-2}\bullet\ {s}^{-1}]$$ 1023 - 1020 1020 - 1017 1017 - 1013 < 1013
Miera kolízií súvisiacich s objemom $$Z_v[{cm}^{-3}\bullet\ {s}^{-1}]$$ 1029 - 1023 1023 - 1017 1017 - 109 < 109
Čas jednej vrstvy τ [s] <10 -5 10-5 - 10-2 10-2 - 100 >100
Typ prietoku plynu   Viskózny prietok Knudsen Flow Molekulárny tok Molekulárny tok
Ďalšie funkcie   Horúci vzduch závislý od tlaku Významná zmena tepelnej vodivosti plynu Výrazné zníženie miery kolízií súvisiacich s objemom Častice na povrchoch dominujú vo veľkej miere v porovnaní s časticami v plynnom priestore
Rozsahy tlaku používané vo vákuovej technológii a ich charakteristiky (čísla sú zaokrúhlené na hodnotu 10)

Táto klasifikácia je v súlade s normou ISO 3529-1:2019, ale v praxi sa často vyskytujú rozdiely v závislosti od krajiny a oblasti použitia. Najmä chemici niekedy označujú spektrum 100 až 1 mbar, ktoré ich najviac zaujíma, ako „stredné vákuum“. 

Inžinieri často vôbec nehovoria o vákuu, ale namiesto toho hovoria o „nízkom tlaku“ alebo „podtlaku“. Vákuové tlakové režimy však možno veľmi dobre rozlíšiť podľa rozdielov a klasifikácie kinetického správania plynov a najmä ich typov prietoku. V dôsledku toho sa techniky na výrobu a meranie vákua v týchto rôznych rozsahoch výrazne líšia.

Atmosférický

Všetky vákuové systémy na Zemi obsahujú vzduch pred evakuáciou a počas prevádzky sú takmer vždy obklopené vzduchom. Znalosť fyzikálnych a chemických vlastností atmosféry je preto rozhodujúca. 

Atmosféra Zeme sa skladá z mnohých plynov a vodnej pary na povrchu Zeme. Podľa definície je tlak vyvíjaný atmosférou relatívny k tlaku na hladine mora. Štandardný atmosférický tlak je 1013,25 mbar (zodpovedá predtým použitej mernej jednotke „atmosféra“) pri 0oC. Tabuľka VIII zobrazuje zloženie štandardnej atmosféry pri relatívnej vlhkosti 50 %, ale pri teplote 68 °F alebo 20 °C. 

  % podľa hmotnosti % objemu Parciálny tlak mbar
N2 75,51 78,1 792
02 23,01 20,93 212
Ar 1,29 0,93 9,47
CO2 0,04 0,03 0,31
Nie $$1,2\bullet {10}^{-3}$$ $${1.8}\bullet{{10}^{-3}}$$ $${1.9}\bullet{{10}^{-2}}$$
On $$7 \bullet{10}^{-5}$$ $${7}\bullet{{10}^{-5}}$$ $${5.3}\bullet{{10}^{-3}}$$
CH4 $${2}\bullet {{10}^{-4}}$$ $${2}\bullet{{10}^{-4}}$$ $${2}\bullet{{10}^{-3}}$$
Kr $${3}\bullet{{10}^{-4}}$$ $${1.1}\bullet{{10}^{-4}}$$ $${1.1}\bullet{{10}^{-3}}$$
N2O $${6}\bullet{{10}^{-5}}$$ $${5}\bullet{{10}^{-5}}$$ $${5}\bullet{{10}^{-4}}$$
H2 $${5}\bullet{{10}^{-6}}$$ $${5}\bullet{{10}^{-5}}$$ $${5}\bullet{{10}^{-4}}$$
Xe $${4}\bullet{{10}^{-5}}$$ $${8.7}\bullet{{10}^{-6}}$$ $${9}\bullet{{10}^{-5}}$$
O3 $${9}\bullet{{10}^{-6}}$$ $${7}\bullet{{10}^{-6}}$$ $${7}\bullet{{10}^{-5}}$$
  Σ 100 % Σ 100 % Σ 1013
50 % RH pri 20 °C 1,6 1,15 11,7
Zloženie atmosféry Poznámka: Okrem teploty je relatívna vlhkosť (RH) vodnej pary špecifikovaná aj individuálne pre zloženie špecifickej atmosféry. Pri 50 % relatívnej vlhkosti by hodnota barometrického tlaku bola 1 025 mbar.
  Kelvin Celzius Réaumur Fahrenheit Rankine
Bod varu H2 O 373 100 80 212 672
Telesná teplota 37 °C 310 37 30 99 559
Okolitá teplota 293 20 16 68 527
Bod tuhnutia H2 O 273 0 0 32 492
NaCl/H2 O 50:50 255 -18 -14 0 460
Bod tuhnutia Hg 34 -39 -31 -39 422
CO2 (suchý ľad) 195 -78 -63 -109 352
Bod varu LN2 77 -196 -157 -321 170
Absolútny nulový bod 0 -273 -219 -460 0
Prevodovka K Kelvin °C Celzius °R Réaumur °F Fahrenheit °R Rankine
K Kelvin 1 K-273 $$\frac{4}{5}{(K – 273)}$$ $$\frac{9}{5}{(K – 273)+{32}}$$ $$\frac{9}{5}K\ =\ 1,8\ K$$
°C Celzius °C + 273 1 $$\frac{4}{5}\bullet{°C}$$ $$\frac{9}{5}\bullet{°C}+(32)$$ $$\frac{9}{5}{(°C+273)}$$
°C Réaumur $$\frac{5}{4}\bullet{°R+273}$$ $$\frac{5}{4}\bullet{°R}$$ 1 $$\frac{9}{4}\bullet{°R+32}$$ $$\frac{5}{9}[\frac{5}{4}\bullet{(°R+273)}]$$
°F Fahrenheit $$\frac{5}{9}{(°F-32)+273}$$ $$\frac{5}{9}{(°F-32)}$$ $$\frac{4}{9}{(°F-32)}$$ 1 °F + 460
°R Rankine $$\frac{5}{9}{(°R)}$$ $$\frac{5}{9}{(°R-273)}$$ $$\frac{4}{5}[\frac{5}{9}{(°R-273)]}$$ °R – 460 1
Tabuľka XVIII obsahuje rôzne teplotné stupnice, prevody medzi nimi (zaokrúhlené na celé stupne) a niektoré bežné referenčné podmienky.

Konkrétne v súvislosti s vákuovými technológiami je potrebné vziať do úvahy nasledujúce body týkajúce sa zloženia vzduchu: 

a) Pri vypúšťaní vákuového systému má vodná para významný vplyv, ktorý sa líši v závislosti od relatívnej vlhkosti vzduchu.  

b) Inertné atmosférické plyny, ako je hélium, neón, argón a krypton, si vyžadujú špecifické konfigurácie čerpania, najmä pre zachytávacie čerpadlá.

c) Napriek veľmi nízkemu obsahu hélia v atmosfére, ktorý je len približne 5 ppm (dielov na milión), sa tento inertný plyn prejavuje najmä v systémoch UHV a XHV, ktoré sú utesnené fluórovými elastomérmi a/alebo obsahujú sklenené alebo kremenné zložky. Dôvodom je vysoká konštanta priepustnosti hélia, ktorá môže do určitej miery účinne „preniknúť“ do týchto materiálov a to platí dokonca aj pre samotný materiál kovovej komory.

Atmosférický tlak klesá so stúpajúcou nadmorskou výškou (pozri obr. 9,3). VN sa vyskytuje v nadmorských výškach približne 100 km, zatiaľ čo podmienky UHV existujú nad 400 km. Plynové zloženie (v %) atmosféry sa výrazne mení so zvyšujúcou sa nadmorskou výškou. (pozri obr. 9,4). 

Zníženie tlaku (1) a zmena teploty (2) ako funkcia nadmorskej výšky
 Zmena zloženia atmosférického plynu ako funkcia nadmorskej výšky

Jednotky tlaku a ich definícia

Tlak p (mbar)

Tlak plynu. (Množstvo: tlak; symbol: p; meranie: Pascal; Pa (alebo hPa) Pascal alebo milibar; skratka: mbar.) Tlak je sila aplikovaná kolmo na povrch predmetu na jednotku plochy. 

Používajú sa aj iné jednotky tlaku vrátane torr a mmHg. Tlak plynu, ktorý môže zdvihnúť ortuťový stĺpec o 1 mm pri 32 °F (0 °C), je 1 torr = 1 mmHg. 

Jednotka SI tlaku je Pa, kde 1 Pa = 1 N.m -2.

Pre štandardný atmosférický tlak (0o C) 

1,013,25 mbar = 1013,25 hPa = 101,325 Pa = 760 torr = 760 mmHg.

Tlak p sa bežne označuje ako 

Absolútny tlak

Absolútny tlak (p abs ) je tlak definovaný vyššie. V aplikáciách vákuovej technológie sa index „abs“ vo všeobecnosti vynecháva. 

Celkový tlak

Celkový tlak vo vákuu je definovaný podľa Daltonovho zákona ako súčet zložiek čiastkového tlaku.

Parciálny tlak pi

Parciálny tlak je tlak vyvíjaný jednotlivými druhmi plynu alebo výparov 

Poznámka: V niektorých aplikáciách je „čiastočný tlak“ definovaný ako súčet tlakov nekondenzovateľných plynov

Tlak nasýtených výparov ps

Tlak nasýtených výparov psje tlak látky, kde rýchlosť odparovania z jej povrchu = rýchlosť rekondenzácie. Veľmi sa líši pri zmene teploty. Poznámka pri bežnom používaní Tlak nasýtených parov sa často označuje jednoducho ako „tlak pary“. Tento pojem sa odlišuje od iného pojmu vzťahujúceho sa na podmienky plynu/pary pri teplote kvapalného dusíka (LN2 ); pd, ktorý sa niekedy označuje aj ako tlak pary, kde pd je čiastočný tlak pary schopnej skvapalnenia LN2 pri teplote LN2 (77 K);

 

Štandardný tlak pn

ISO definícia štandardného atmosférického tlaku (0o C) je taká, že

1,013,25 mbar = 1013,25 hPa = 101,325 Pa = 760 torr = 760 mmHg.

Konečný tlak čaká

Koncový tlak p end je minimálny tlak, ktorý možno dosiahnuť vo vákuovej nádobe. Nazýva sa aj koncový alebo základný tlak. Tento konečný tlak je určený celkovým zaťažením plynom a parou vo vákuovom systéme vrátane odplynenia, procesných zaťažení, únikov, permeácie a spätného toku v porovnaní s efektívnymi rýchlosťami čerpania použitých čerpadiel. Upozorňujeme, že v niektorých prípadoch to môže byť obmedzené aj neúčinnosťou čerpadiel, ako sú kompresné pomery turbomolekulárnych čerpadiel.

Atmosférický tlak

alebo (absolútny) atmosférický tlak

Pretlak pe alebo manometer

(indexový znak „prebytku“) pe = p abs - p amb

$$p_e=p_{abs}-p_{amb}$$

Kladné hodnoty pre pe označujú pretlak alebo manometer, záporné hodnoty označujú podtlak. 

Prevádzkový tlak pw

Počas vákuového odsávania sa z nádoby odstraňujú plyny a/alebo výpary. V plynnom stave (alebo fáze) molekuly plynu pri miestnej/prevádzkovej teplote nekondenzujú. Para je tiež plynná látka, ktorá má teplotu nižšiu ako je jej kritická teplota. To znamená, že sa môže skvapalniť pri existujúcej teplote zvýšením tlaku. Nasýtené výpary sú plyny pri príslušnej teplote, ktoré sú v rovnováhe s kvapalnou fázou rovnakej látky. 

Jednotka N · m -2, Pa 2) mbar bar Torr
1N · m -2 (=1 Pa) 1 1 · 10-2 1 · 10-5 7,5 · 10-3
1 mbar 100 1 1 · 10-3 0,75
1 bar 1 · 105 1 · 103 1 750
1 torr 3) 133 1,33 1,33 · 10-3 1
Niektoré tlakové jednotky a ich konverzie. Hoci jednotka SI tlaku je Pa, mbar a Torr sa stále bežne používajú, rovnako ako iné jednotky, ktoré odborníci na vákuum v rôznych krajinách uprednostňujú inak. Patria sem hPa, mTorr, mikron, mmHg, inHg, mmH2O a inH2O 2) Jednotka Newton vydelená metrami štvorcovými (N · m-2) je tiež známa ako Pascal (Pa): 1 N · m-2 = 1 Pa. t. j. Newton vydelený metrami štvorcovými =Pascal je jednotka SI tlaku 3) Približne 1 Torr = 4/3 mbar a 0,75orr = 1 mbar.

Referencia platiteľa

Slovník pojmov

Viete, ktoré zákonné jednotky sa používajú vo vákuovej technológii? Preskúmajte náš slovník a objavte podrobný prehľad všetkých premenných, merných jednotiek a symbolov vo vákuovej technológii. 

Symboly vákua

Tu získate prehľad o bežne používaných symboloch vákua v odvetví. Tu nájdete symboly používané na znázornenie podtlakových čerpadiel, príslušenstva, meračov a mnoho ďalšieho. 

Literatúra

Chcete si ešte viac rozšíriť svoje vedomosti?

V tejto časti získate všetky materiály použité na vývoj našej wiki o vákuu Edwards. 

Ak chcete viac informácií, kontaktujte nás.