Veja o que você não conseguia ver antes
Analisador de Gás de Processo Edwards - Controle de processos em tempo real para aplicações de semicondutores
O iTrap® é um espectrômetro de massa compacto e altamente sensível para captura de íons com Transformada de Fourier. É uma ferramenta ideal para análise de processos e controle de processos em linha. Pode ser usado em ambientes de produção e de P&D. O iTrap oferece suporte confiável na detecção dos menores traços de subprodutos de reação ou contaminação, ajuda a investigar a eficácia da limpeza e a analisar a integridade da câmara. Um espectro de massas é medido quase em tempo real e você pode rastrear quantidades muito pequenas de moléculas em sua câmara de processo. O iTrap é uma ferramenta potente nas mãos de um pesquisador ou engenheiro de desenvolvimento de processo e também pode ser usado como um sensor inteligente integrado e controlado por outro equipamento de ferramenta de processo.
Benefícios
A Edwards iTrap convence por meio de:
- Velocidade | medições em tempo real possíveis, espectro total em < 0,5 segundos
- Sensibilidade | medidas de concentração de pequenos resíduos
- Tamanho compacto | pode ser integrado a uma câmara de processo. Interface de software padronizada pronta para produtos químicos externos.
- Robustez contra corrosivos | Superfície inerte, sem detectores. Suporta H2, Cl, F e outros produtos químicos agressivos