Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography - PDF
EUV-waterstofverdunning van Edwards met Richard Salloum
EUV-lithografie helpt bij het mogelijk maken van de grootschalige productie van hoogprecisie geïntegreerde schakelingen. Dit verhoogt de vraag naar milieuvriendelijke producten en maximaliseert tegelijkertijd de productiviteit van onze klanten.
Om de directe emissies van de klant te verminderen, heeft Edwards een oplossing ontwikkeld die afstapt van het gebruik van aardgassen in de SubFab en de manier verandert waarop uitlaatgassen worden beheerd voor EUV-lithografie.
Met duurzaamheid in gedachten hebben de innovatieve teams van Edwards een brandstofvrij alternatief ontwikkeld voor gasgestookte emissiereductie bij EUV – het Waterstofverdunningssysteem of H2D.
VIDEO-TRANSCRIPTIE
Wat doet een productmanager?
Als productmanager proberen we altijd de klantbehoeften vast te leggen en voorspellen we in feite de toekomstige behoeften en wensen van de klant.
We gaan het hebben over hoe verdunning ons huidige product vervangt, dat fossiele brandstoffen en beperkte hulpbronnen gebruikt, en dat vervangen door een verdunningsproduct, dat beter is voor het milieu, effectiever is in gebruik voor klanten en hun productiviteit verbetert.
Wat is de huidige marktstimulator voor EUV?
De snelle groei van 5G, kunstmatige intelligentie en de productie van chips zorgt voor een toenemende vraag naar geïntegreerde schakelingen met hogere prestaties en een lager energieverbruik. Chipfabrikanten blijven investeren in nieuwe technologieën en ontwikkelen nieuwe processen om oplossingen te bieden die deze snelle digitale groei ondersteunen en mogelijk maken.
EUV-lithografie stelt chipfabrikanten in staat om de verkleining van kenmerken en apparaatgroottes voort te zetten, wat sinds het prille begin de vooruitgang in de halfgeleiderindustrie heeft bepaald. De investering die nodig is om EUV in grootschalige productie te gebruiken, betekent dat er enorme druk op chipfabrikanten ligt om de output te maximaliseren om een acceptabel rendement te behalen.
De totale doorvoer van een EUV-apparaat is in wezen vast, dus chipfabrikanten moeten kijken naar het verlagen van operationele kosten, het maximaliseren van de doorvoer en ook het verminderen van milieukosten. Kortom, er is behoefte aan milieuvriendelijke producten terwijl de productiviteit wordt gemaximaliseerd.
Wat zijn de uitdagingen waarmee wereldwijde EUV-klanten worden geconfronteerd?
Er staat enorme druk op onze klanten om geïntegreerde schakelingen te produceren die op een duurzame en milieuvriendelijke manier zijn vervaardigd. Door zich te committeren aan duurzame doelen zoals de Science-Based Targets initiative en het Greenhouse Gas Protocol, zoeken onze klanten naar nieuwe en innovatieve manieren om hun ecologische voetafdruk te verkleinen, terwijl ze ook moeten blijven focussen op het verbeteren van de uptime van hun EUV-tools en tegelijkertijd aandacht besteden aan veiligheid.
Hoe kunnen die problemen worden opgelost?
De meerderheid van onze klanten heeft zich gecommitteerd aan het verminderen van hun scope één en twee volgens het Greenhouse Gas Protocol, wat betekent dat zij zich inzetten om hun impact op het milieu en hun CO2-uitstoot te verminderen. Een afbraaksysteem dat we traditioneel gebruiken op een EUV Zenith-systeem maakt gebruik van aardgas om de waterstof te verbranden. Waterstof is het procesgas dat het EUV-instrument in staat stelt te functioneren en het patroon op de geïntegreerde schakeling te produceren. Onze traditionele manier om die uitlaatgassen te beheren is door ze gecontroleerd te verbranden, terwijl het waterstofverdunningsproduct veiliger is, lagere eigendomskosten heeft en milieuvriendelijker is omdat het alleen stroom gebruikt om het ventilatiemechanisme aan te drijven.
Hoe werkt H2D?
H2D is geïntegreerd met ons EUV Zenith-systeem. We verdunnen het waterstofprocesgas veilig met een ventilator tot een laag percentage volume per volume, en dat wordt vervolgens in de atmosfeer uitgestoten zodra het onder een veilig niveau is.
Veiligheid
De kunst van innovatie ligt in het leveren van een product dat veilig omgaat met het waterstofuitlaatgas, maar ook de mensen die in de SubFab werken beschermt. Daarnaast hebben we uiteraard een maatschappelijke verantwoordelijkheid tegenover de gemeenschappen die rondom de Fabs wonen, dus moeten we ervoor zorgen dat het uitlaatgas wordt verdund tot een veilig niveau.
Hoe kan H2D onze klanten ten goede komen?
We begrijpen dat klanten duurzaamheid en veiligheid moeten verbeteren, maar ook dat we de productiviteit van klanten moeten verhogen om hen succesvol te laten zijn in hun markten. H2D zal de prestaties en beschikbaarheid van het EUV-instrument in de fabriek verbeteren door aanzienlijk minder onderhoudsactiviteiten in vergelijking met luchtverbrandingstechnologie, redundante werking die honderd procent uptime biedt en routinematig onderhoud dat kan worden uitgevoerd tijdens de waterstofstroom met ons dual fan-concept. We ontwikkelen momenteel H2D met een hogere capaciteit om de volgende generatie EUV-instrumenten te ondersteunen.
De belangrijkste punten voor H2D zijn dat het de milieukosten verlaagt, veilig is door waterstof op een veilige manier te verdunnen, en ook de productiviteit voor onze klanten verbetert.
Om meer te lezen over dit onderwerp, is het artikel van David Engerran 'Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography' hieronder beschikbaar om te downloaden.
Onze inzet voor het milieu
