Wat zijn de uitdagingen waarmee EUV wordt geconfronteerd bij de productie van grote volumes?

Het begrijpen van de procesuitdaging vanuit het perspectief van vacuüm en bestrijding is een belangrijk aspect bij het maximaliseren van de beschikbaarheid van gereedschap. EUV-verlichting met een kortere golflengte maakt het mogelijk om kleinere kenmerken te creëren, maar maakt het lithografiesysteem ook veel complexer. EUV-licht wordt sterk geabsorbeerd door alle materialen en vereist het gebruik van precisiereflecterende optiek en vacuüminsluiting van het gehele straalpad.

Om ervoor te zorgen dat deze kritische optiek vrij blijft van verontreinigingen, wordt waterstof in het EUV-proces gebruikt om te reageren met procesmaterialen en ze uit het proceshulpmiddel te verwijderen en naar het vacuümsysteem te voeren. Nu zijn vacuüm- en bestrijdingssystemen nodig om deze hoge waterstofstromen op een veilige en effectieve manier te beheren.

De kunst van innovatie ligt in het vinden van manieren om de veiligheid van het personeel van Fab, de omringende gemeenschap en het milieu te waarborgen, terwijl tegelijkertijd de efficiëntie wordt verbeterd en de bedrijfskosten worden verlaagd.

EUV's gebruiken een aanzienlijke hoeveelheid waterstof, waardoor de veiligheid en het milieu door de ontvlambaarheid in de lucht zeer belangrijk zijn. De EUV-systemen van Edwards maken gebruik van vacuümpompen die speciaal zijn ontworpen voor het EUV-proces, met ingebouwde afscheiders om gereageerde verbindingen op te vangen. Het gehele systeem omvat veiligheidssensoren om ervoor te zorgen dat er geen ontvlambaar mengsel door het systeem heen aanwezig is. Van oudsher werden op brandstof gestookte bestrijdingssystemen gebruikt om de waterstof stroomafwaarts van de vacuümpompen te verbranden, maar deze methode vereist aanzienlijke energie en middelen en vereist voortdurend onderhoud.

Onze nieuwe brandstofvrije aanpak gaat verder dan op brandstof gestookte bestrijding en biedt een veilige verdunning van de waterstof tot niveaus die aanzienlijk onder het ontvlambaarheidsbereik liggen. Dit alles terwijl de veiligheid te allen tijde wordt gewaarborgd en de energiebehoefte aanzienlijk wordt verlaagd.

Gelukkig heeft waterstof zelf geen negatieve impact op het milieu. Zodra de concentratie ervan onder het minimale ontvlambaarheidsniveau ligt, is het vrij veilig. Brandstofvrij waterstofbeheer is afhankelijk van een grondig inzicht in ontvlambaarheidsniveaus, verdunningstechnologieën en industriële veiligheidsnormen. De kritieke handeling is het verdunnen van waterstof met lucht, een contra-intuïtieve aanpak. Door het kritieke pad, waar het mengsel ontvlambaar is, zeer kort en zorgvuldig te houden, wordt het gas echter snel verdund tot niet-ontvlambare concentraties die veilig door de Fab kunnen worden getransporteerd en rechtstreeks in de atmosfeer kunnen worden vrijgegeven.

Brandstofvrij waterstofbeheer elimineert de brandstofkosten en koolstofemissies van gecontroleerde verbranding en de hoge kosten van stikstof voor verdunning. Ondersteund door geavanceerde productiemogelijkheden en een wereldwijde service-infrastructuur biedt Edwards de complete EUV-oplossing, terwijl het tevens zorgt voor het creëren van milieu- en sociale waarde, niet alleen voor zijn klanten, maar voor alle betrokken belanghebbenden.

Ondersteund door geavanceerde productiemogelijkheden en een wereldwijde service-infrastructuur biedt Edwards de complete EUV-oplossing en creëert het tegelijkertijd milieu- en sociale waarde, niet alleen voor zijn klanten, maar ook voor alle belanghebbenden.