In deze samenvatting onderzoekt Alan Brightman, Senior Product Manager bij Edwards, hoe de gelijktijdige uitdagingen van corrosieve en condenseerbare precursormaterialen samengaan met reactiebijproducten in een vacuümomgeving.
Naarmate de schaal van de halfgeleiderproductie opnieuw verandert, neemt de druk op innovatie toe.
Interactieve whitepaper downloaden
Download voor mobiele apparaten